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凈化工程中空氣凈化處理方案:
●確定集中或分散式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)時,應綜合考慮生產(chǎn)工藝的特點和凈化車間空氣的潔凈度等級、面積、位置等因素。凡生產(chǎn)工藝連續(xù)、無塵室或凈化車間面積較大時,位置集中以及噪聲控制和振動控制要求嚴格的潔凈室,宜采用集中式凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)。
●凈化工程中凈化空氣調(diào)節(jié)系統(tǒng)除直流式系統(tǒng)和設置值班風機的系統(tǒng)外,應采取防止室外污染空氣通過新風口參入凈化車間內(nèi)的防灌倒措施。
無塵潔凈室主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產(chǎn)生非常大的影響,所以在光學構造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無塵是必然的要求。
無塵潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、細菌等之污染物排除,并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設計建成的無塵潔凈房間。
每立方米將小于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下,就達到了國際無塵標準的A型級別。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A型級別,這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。
GMP潔凈車間,凈化工程規(guī)劃應確保安全出產(chǎn)和滿足環(huán)境保護的要求。云潔凈化工程的稍置和各項設備的規(guī)劃均有必要契合消防、防火的要求,應按國家的有關標準、標準進行規(guī)劃,由于潔凈室凈化工程內(nèi)的平面和空間扣置持殊、走道彎曲等特點,在進行各項技能設備的系統(tǒng)規(guī)劃、設備裝備和材質(zhì)選樣時,加特別留意按規(guī)定選用契合要求的系統(tǒng)、沒備和材質(zhì)。