凈化車間壓差的控制

   維持壓差的控制措施有：(1)回風(fēng)口控制，即通過回風(fēng)口上的百葉可調(diào)格柵或阻尼層改變其阻力來調(diào)整回風(fēng)量，達(dá)到控制室內(nèi)壓力的目的。這是一種簡單的控制方式，特點(diǎn)是結(jié)構(gòu)比較簡單、經(jīng)濟(jì)。格柵控制調(diào)節(jié)方便，但格柵不易密閉，且調(diào)節(jié)幅度不大，同時(shí)也會(huì)對氣流方向產(chǎn)生影響。一般使用初效泡沫塑料或初效無紡布作為阻尼層，通過改變回風(fēng)口的阻力來調(diào)整回風(fēng)量，控制潔凈室內(nèi)外的壓差。隨著阻尼層使用時(shí)間增長，其阻力增加，室內(nèi)正壓有加大的趨向，因此應(yīng)定期進(jìn)行清洗，阻尼層可以重復(fù)使用。(2)余壓閥控制通過手動(dòng)或自動(dòng)調(diào)整余壓閥上的平衡壓塊，改變壓閥的閥門開度，實(shí)現(xiàn)室內(nèi)的壓力控制。余壓閥一般設(shè)在潔凈室下風(fēng)側(cè)墻上。大致包含潔凈室修建裝飾體系,凈化空調(diào)體系,水體系、電體系、氣體系等,對潔凈室內(nèi)的溫度、濕度、照度、潔凈度、靜電現(xiàn)象進(jìn)行管控,然后到達(dá)特定的技能要求。采用這種措施時(shí)，潔凈室內(nèi)需有足夠的剩余正壓值，如果排風(fēng)量發(fā)生變化，需重新調(diào)整余壓閥。余壓閥安裝簡單，但長期使用后關(guān)閉不嚴(yán)。如果余壓閥完全關(guān)閉時(shí)室內(nèi)正壓值仍低于要求值，則需改用其他方式控制室內(nèi)壓差。(3)調(diào)節(jié)回風(fēng)閥或排風(fēng)閥根據(jù)檢測的室內(nèi)壓力值，調(diào)節(jié)回風(fēng)管上（或排風(fēng)管上）的電動(dòng)閥，改變回風(fēng)量（或排風(fēng)量），控制潔凈室內(nèi)的壓力值。(4)差壓變送器控制，通過差壓變送器檢測室內(nèi)的壓力，然后調(diào)整新風(fēng)量，新風(fēng)（OA)管路上的電動(dòng)閥（MD)閥門開大（變?。?

FFU具有的特點(diǎn)：

第yi，靈活性：因?yàn)镕FU是自帶動(dòng)力的，它不受區(qū)域的限制，在一個(gè)偌大的無塵廠房里可根據(jù)要求，分區(qū)控制，而且，隨著半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝的變化，廠房布局必然要作相應(yīng)的調(diào)整，F(xiàn)FU的靈活性使得這樣的調(diào)整變得輕松，而且不會(huì)帶來二次投資。

第二，可再利用性，從理論上講，一時(shí)不用的FFU設(shè)備，可以拆下來，密封好，妥善保管，留待下次使用。

第三，負(fù)壓通風(fēng)，這是FFU的獨(dú)特特點(diǎn)，由于它本身能夠提供靜壓，使得送風(fēng)靜壓箱相對于無塵廠房負(fù)壓，這樣，靜壓箱內(nèi)的顆粒就不會(huì)受到壓力的作用泄漏到潔凈區(qū)內(nèi)，使得密封變得很簡單而且安全。

第四，縮短建設(shè)周期，使用FFU省掉了風(fēng)箱的制作和安裝，因?yàn)轱L(fēng)管在潔凈工程中，占掉很大的建設(shè)周期，任何一個(gè)投資者都希望投資能盡快帶來收益，選用FFU成為了一種可能。

第五，減少運(yùn)行成本，雖然在選用FFU時(shí)，初期投資要比使用風(fēng)管通風(fēng)高，但在它后期運(yùn)行中，突出的表現(xiàn)出節(jié)能，免維護(hù)等特點(diǎn)，用大循環(huán)減少40%的運(yùn)行成本。

?潔凈室中的氣壓規(guī)定

    對于大部分潔凈空間，為了防止外界污染侵入，需要保持內(nèi)部的壓力（靜壓）高于外部的壓力（靜壓）。壓力差的維持一般應(yīng)符合以下原則：

1．潔凈空間的壓力要高于非潔凈空間的壓力。

2.潔凈度級別高的空間的壓力要高于相鄰的潔凈度級別低的空間的壓力。

3.相通潔凈室之間的門要開向潔凈度級別高的房間。

壓力差的維持依靠新風(fēng)量，這個(gè)新風(fēng)量要能補(bǔ)償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風(fēng)量。所以壓力差的物理意義就是漏泄（或滲透）風(fēng)量通過潔凈室的各種縫隙時(shí)的阻力。

?電子產(chǎn)業(yè)仰賴潔凈技術(shù)

    潔凈技術(shù)對我國電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展意義重大，因?yàn)樗c產(chǎn)品的成品率有著直接關(guān)系。電子行業(yè)對生產(chǎn)環(huán)境的要求非常高，特別是對直徑小于1微米的顆粒特別敏感，因?yàn)樗鼈兡芤鸾饘賹又g的短路。上海市室內(nèi)環(huán)境凈化協(xié)會(huì)在與電子信息潔凈用戶交流過程中，潔凈室節(jié)能、潔凈室的化學(xué)污染物質(zhì)的控制、潔凈室氣流組織、潔凈室使用人的培訓(xùn)及潔凈室運(yùn)行管理等問題都是熱門話題。目前由于國際上大型電子企業(yè)紛紛到中國建廠，潔凈室需求也隨之增加，為其提供潔凈技術(shù)支持的國際上幾個(gè)的潔凈技術(shù)公司和工程公司也跟著這些企業(yè)移師中國，群雄逐鹿，搶占市場。水路管道檢查：水路管道檢查至關(guān)重要，這相關(guān)以后的水路安全隱患問題。中國的潔凈企業(yè)也快速發(fā)展，在江蘇吳江地區(qū)，從事潔凈設(shè)備、施工、建造的企業(yè)已經(jīng)多達(dá)2000多家。而中國在潔凈室用手套、抹布和潔凈服等產(chǎn)品生產(chǎn)領(lǐng)域已經(jīng)成為世界上的主要生產(chǎn)國。隨著我國工業(yè)發(fā)展的日益高科技化，產(chǎn)品日益精密化、微型化，對潔凈環(huán)境的依賴也越來越強(qiáng)，潔凈行業(yè)在我國存在著巨大的市場空間。