石英撓性加速度計(jì)發(fā)展小型化高溫型，小型化，普通型，石英撓性加速度計(jì)是一種力平衡式傳感器，它將輸入加速度轉(zhuǎn)換成其撓性擺片的微小位移，并用反饋力加以平衡。3軸石英撓性加速度計(jì)由于采用了力反饋回路，使這種撓性加速度計(jì)具有精度高，抗干擾能力強(qiáng)的特點(diǎn)。石英撓性加速度計(jì)可應(yīng)用于各種線加速度、振動(dòng)加速度的測(cè)量，經(jīng)轉(zhuǎn)換后可應(yīng)用于速度、距離、角速度、角位移等參數(shù)測(cè)量。

3軸石英撓性加速度計(jì)是根據(jù)慣性原理設(shè)計(jì)而成的精密型石英加速度傳感器。它將輸入加速度轉(zhuǎn)換成其撓性擺片的微小位移，并用反饋力加以平衡。由于采用了力反饋回路，使這種加速度計(jì)具有精度高、抗干擾能力強(qiáng)、測(cè)量范圍寬、過載能力強(qiáng)的特點(diǎn)，3軸石英撓性加速度計(jì)精度高、穩(wěn)定性好、分辨率高、重復(fù)性好、攜帶方便，被廣泛用于：隧道開鑿、深井測(cè)量、地質(zhì)鉆探、港務(wù)測(cè)量、高層建筑基坑、大壩、堤防、巖土邊坡等的傾斜測(cè)量，公路、鐵路、堤壩等的剖面沉降。

3軸石英撓性加速度計(jì)開始出現(xiàn)新型的非液浮的所謂干式加速度計(jì)。由于這種表面選用撓性支承技術(shù)所以稱為石英撓性加速度計(jì)，且其結(jié)構(gòu)與工藝大大簡(jiǎn)化，這種石英撓性加速度計(jì)已廣泛運(yùn)用于各類現(xiàn)代慣性系統(tǒng)中。3軸石英撓性加速度計(jì)由于這種儀表采用撓性支承技術(shù)，所以稱為石英撓性加速度計(jì)，且其結(jié)構(gòu)與工藝大大簡(jiǎn)化。目前這種石英撓性加速度計(jì)已廣泛應(yīng)用于各類現(xiàn)代慣性系統(tǒng)中。3軸石英撓性加速度計(jì)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、精度高、靈敏度高、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好、體積小巧、功耗小、成本低等優(yōu)點(diǎn)，是對(duì)加速度、速度、距離、搖擺、振動(dòng)、傾斜等物理量敏感、測(cè)量、控制方面的換代產(chǎn)品。