特種氣體系統(tǒng)的設(shè)計與施工

特氣輸送系統(tǒng)是指：將特種氣體從氣源端、根據(jù)工藝設(shè)備的工藝需求、通過對流量和壓力等參數(shù)的控制，通過管道、無二次污染、穩(wěn)定的輸送到工藝設(shè)備的用氣點。

其基本流程是：氣源→控制柜→管道傳輸→用氣點

分類

特種氣體根據(jù)氣體性質(zhì)不同一般分為：惰性氣體、易1燃易1爆氣體、有毒氣體和腐蝕性氣體；根據(jù)供應(yīng)包裝的不同分為：特種氣體和大宗特種氣體。

特氣供氣系統(tǒng)

大規(guī)模供氣系統(tǒng)主要針對大規(guī)模量產(chǎn)的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大規(guī)模集成電路廠（氣體種類包括SiH4、N2O、2、 C2F6、 NH3等），100MW以上的太陽能電池生產(chǎn)線（氣體種類包括NH3），發(fā)光二極管的磊晶工序線（氣體種類包括NH3）、5代以上液晶顯示器工廠（氣體種類包括SIH4、CL2、NH3、NF3）等、光纖（氣體種類包括SiCl4）、硅材料外延生產(chǎn)線（氣體種類包括HCL）等行業(yè)。其排風(fēng)系統(tǒng)也根據(jù)危險品性質(zhì)分成普通排風(fēng)系統(tǒng)（GEX）、酸性排風(fēng)系統(tǒng)（SEX）、溶劑排風(fēng)系統(tǒng)（VEX）、氨氣排風(fēng)系統(tǒng)（AEX）。它們的投資規(guī)模巨大，采用1先進的工藝制程設(shè)備，用氣需求量大，對穩(wěn)定和不間斷供應(yīng)、純度控制和安全生產(chǎn)提出嚴格的要求。

特種氣體的運輸

算出運輸量

關(guān)于高壓氣體的運輸規(guī)則，根據(jù)其運輸量而有所不同。其運輸量，可用如下方法算出。

(1)運輸量的計算

  運輸量的計算是用一個容器的氣體充填量乘上車上裝載的容器個數(shù)。

  容器的充填量，壓縮氣體用米3表示，液化氣體用公斤表示。

壓縮氣體 容器內(nèi)容積(升)×充填壓力(公斤／厘米2 )/1000=米3

  液化氣體 容器的充填質(zhì)量(公斤)。

在半導(dǎo)體制造業(yè)中，可以把氣體分成大宗氣體和電子氣體，大宗氣體是指集中供應(yīng)且用量較大的氣體，如N2、H2、O2、Ar、He等。電子氣體主要是半導(dǎo)體制造中刻蝕、清洗、外延生長、離子注入、摻雜、氣相沉積，擴散等過程中使用的各種化學(xué)氣體，如高純NF3、SiH4、WF6、HCl、C4F6、Cl2、NH3、CF4、SF6、PH3、AsH3、BCl3、BF3、B2H6、C2F6、C3F8、C4F8、N2O等，又可稱為電子特種氣體。2、檢測及比較介質(zhì)，通常會根據(jù)使用的儀器配制標準氣體，用于質(zhì)譜儀、氣相色譜儀、核測、報警、檢漏、醫(yī)1療、電子、原子吸收、化學(xué)檢驗等。電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體。