每立方米將大于0.5微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個以下，就達到了國際無塵標準的A。應用在芯片級生產(chǎn)加工的無塵標準對于灰塵的要求高于A，這樣的高標主要被應用在一些等級較高芯片生產(chǎn)上。微塵數(shù)量被嚴格控制在每立方米1000個以內(nèi)，這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級別。人⑷無口罩發(fā)菌量：有口罩發(fā)菌量1:7~1:14⑸發(fā)菌量：發(fā)塵量1:500~1:1000據(jù)國內(nèi)事例：⑹手術(shù)中人員發(fā)菌量878個/min。

    無塵室的優(yōu)點：構(gòu)造簡單、系統(tǒng)建造成本，無塵室之擴充比較容易，在某些特殊用途場所，可并用無塵工作臺，提高無塵室等級。

    無塵室的缺點：亂流造成的微塵粒子于室內(nèi) 空間飄浮不易排出，易污染制無塵室程產(chǎn)品。另外若系統(tǒng)停止運轉(zhuǎn)再重啟，欲達需求之潔凈度，往往須耗時相當長一段時間。

   蘇州卓宇泰起重設(shè)備安裝有限公司主營設(shè)備安裝，設(shè)備包裝，設(shè)備吊裝，無塵室設(shè)備移位與定位，大型廠房搬遷等業(yè)務(wù)。

   簡易無塵室是快速方便建立的一座簡易潔凈室，簡易無塵室具備多種潔凈等級及空間搭配可以根據(jù)使用需求設(shè)計制作，因此其簡便運用彈性大安裝容易且施工期短以及可移性為其主要特點，簡易無塵室同時可針對在一般等級的潔凈室中局部地區(qū)需要高潔凈度的地方做局部增設(shè)以降低成本。潔凈工作棚：為在亂流式之無塵室空間內(nèi)以防靜電之透明塑料布圍成一小空間，采用獨立之HEPA或ULPA及空調(diào)送風機組而成為一較高之潔凈空間，其等級為10~1000級，高度在2。

   (1)FFU用于老建筑物改造成潔凈室時，其綜合經(jīng)濟性一般往往可取。

   (2)潔凈度要求嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率時，對大的系統(tǒng)采用FFU，當前還是不經(jīng)濟的;對小系統(tǒng)有意義作具體比較。

   (3)對潔凈度要求不甚嚴的潔凈室，末級過濾器滿布率≤40%時對大系統(tǒng)綜合經(jīng)濟性往往相差不多，但對IC工廠而言FFU系統(tǒng)的靈活性是重要的，因此當前IC工廠對過濾器滿布率≤40%時，采用FFU系統(tǒng)已經(jīng)普遍。