曝光及顯影設(shè)備還包括主體曝光機(jī)10、基板輸送機(jī)構(gòu)50及傳送裝置40。主體曝光機(jī)10用于先對(duì)基板S的主體進(jìn)行曝光。傳送裝置40用于將來自該主體曝光機(jī)10的基板S傳送至基板輸送機(jī)構(gòu)50,傳送裝置40例如為機(jī)械手臂。基板輸送機(jī)構(gòu)50用于將基板S輸送至顯影裝置30，基板輸送機(jī)構(gòu)50例如為輸送輥。由于該基板的長(zhǎng)邊邊緣容易存在殘留光阻，因此，本公開通過設(shè)置對(duì)應(yīng)于基板的長(zhǎng)邊邊緣的邊緣曝光裝置20，即可去除絕大部分的殘留光阻。


在連續(xù)的板子蝕刻中，蝕刻速率越一致，越能獲得均勻蝕刻的板子。要達(dá)到這一要求，必須保證蝕刻液在蝕刻的全過程始終保持在的蝕刻狀態(tài)。這就要求選擇容易再生和補(bǔ)償，蝕刻速率容易控制的蝕刻液。選用能提供恒定的操作條件和對(duì)各種溶液參數(shù)能自動(dòng)控制的工藝和設(shè)備。通過控制溶銅量，PH值，溶液的濃度，溫度，溶液流量的均勻性(噴淋系統(tǒng)或噴嘴以及噴嘴的擺動(dòng))等來實(shí)現(xiàn)。

工件經(jīng)前處理合格后，即可進(jìn)行氧化。在該工序中主要控制氧化電流及氧化時(shí)間，保證批量產(chǎn)品氧化質(zhì)量的一致性。

①生產(chǎn)中必須保證導(dǎo)電極桿和電接頭光潔干燥，確保導(dǎo)電性能良好。

②每天檢查設(shè)備完好情況，保證工作缸溶液都處于工藝控制范圍。批量生產(chǎn)的氧化缸中H2SO4及All濃度每天都要分析，協(xié)助工藝工程師做好氧化缸的調(diào)節(jié)工作。