凈化工程技術的發(fā)展與應用趨勢：對于半導體設備來講，凈化工程技術在微電子技術中起著十分重要的作用。微電子技術的核心是集成電路，而集成電路的生產(chǎn)對其工藝環(huán)境和工藝流程中的凈化技術和設備提出了嚴格的要求。我國“九五”期間大力發(fā)展以微電子為重點的信息產(chǎn)業(yè)。凈化工程技術水平在某種意義上已成為衡量一個國家和地區(qū)科學技術水平和工業(yè)水平的一個重要標志。隨著我國人民生活水平提高，人們對生存環(huán)境及生活質(zhì)量提出了越來越高要求，用水純化設備制備的高純水已受到人們普遍歡迎，凈化工程技術已開始進入千家萬戶，進入人們的現(xiàn)代生活。

凈化工程的位置和總體布局可根據(jù)以下要求確定，并經(jīng)過技術和經(jīng)濟計劃的比較：遠離鐵路，碼頭，機場，交通干線，工廠，倉庫，排放大量灰塵的堆場和有害氣體，以及其他嚴重空氣污染，振動或噪音干擾的區(qū)域;應安排在工廠環(huán)境清潔，人1流，物流不交叉或小截面;應測量現(xiàn)有振動源的振動效應，并與精密設備和儀器的允許振動值進行比較。環(huán)形滅火車道應設置在凈化工程左右（可以使用交通道路），路面層應選擇整體性能好，灰塵少的材料。

不同行業(yè)的車間凈化工程標準不一樣：在醫(yī)1療行業(yè)中對于潔凈標準要求高的主要是手術室的潔凈標準，在溫度、濕度、空氣流通環(huán)境等都是需要有標準的，其一是為了病1人更好的康復，其二就是潔凈的空氣對細菌感1染的可能性大大降低。凈化標準對于生物制藥1方面的做實驗的地方對于凈化環(huán)境的一些要求，凈化設施選擇專門的氧氣的供應裝置、隔離的服裝、等都是需要密閉實驗安全達到凈化標準才可以使用的。

做凈化工程之車間無塵室裝修，車間無塵室的室內(nèi)空氣參數(shù)要求 ：(1)溫濕度要求：溫度一般為24 2℃，相對濕度為55 5%。(2)新風量大。由于這類車間內(nèi)，人員比較多，可以根據(jù)以下數(shù)值應取下列的值：非單向流潔凈室總送風量的10-30%;補償室內(nèi)排風和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量;保證室內(nèi)每人每小時的新鮮空氣量≥40m3/h。(3)送風量大。為了滿足潔凈室內(nèi)的潔凈度及熱濕平衡，需要較大的送風量，就300平方米的車間，吊頂高度為2.5米的，如果是萬級，送風量就需要300×2.5×30=22500m3/h的送風量(換氣次數(shù)，是≥25次/h);如果是十萬級，送風量就需要300×2.5×20=15000m3/h的送風量(換氣次數(shù)，是≥15次/h)