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而氫氣作為半導(dǎo)體制造中的氣源,在半導(dǎo)體材料及器件制備中起到至關(guān)重要的作用。可在光電器件、傳感器、IC制造中應(yīng)用。
目前半導(dǎo)體工藝中氫氣主要用于退火、外延生長、干法刻蝕等工藝。4S店空壓機(jī)代理
退火是通過高溫加熱釋放材料內(nèi)部應(yīng)力從而改善材料質(zhì)量的一種材料處理辦法,氫氣作為保護(hù)氣可以起到防止氧化等作用,多用于薄膜生長后釋放應(yīng)力。
氫氣在等離子體刻蝕(RIE/ICP)中作為反應(yīng)氣體出現(xiàn),等離子體刻蝕原理是利用反應(yīng)氣體離化后與材料發(fā)生反應(yīng)生成揮發(fā)性物質(zhì),從而實現(xiàn)材料圖形化,是半導(dǎo)體器件制備的必備工藝。4S店空壓機(jī)代理
氫氣發(fā)生器有什么特點(diǎn),購買氫氣發(fā)生器之前需要了解什么,本文我們就來整理一份詳細(xì)的特點(diǎn)供大家參考。
1. 壓力、流量自動顯示,自動恒壓、恒流,氫氣流量可根據(jù)用量實現(xiàn)全自動調(diào)節(jié)。
2. 雙支不銹鋼過濾器,內(nèi)有微量氧脫除劑(不需活化),氫氣純度更高;儀器內(nèi)部采用硅橡膠圈(含硫量低),有效提高氣體質(zhì)i量,保證色譜基線平穩(wěn)。
3. 提供高、低壓兩種工作模式,可靈活運(yùn)用在不同狀態(tài)。
4. 配有安全裝置,靈敏可靠,自動防返堿。 4S店空壓機(jī)代理
我們的高純度氮?dú)獍l(fā)生器配置安全控制系統(tǒng),確保儀器運(yùn)行安全穩(wěn)定。
在操作氮?dú)獍l(fā)生器時要注意環(huán)境和操作對產(chǎn)出氮?dú)饧兌鹊挠绊?,采取相?yīng)措施減小和消除影響。如果您在高純度氮?dú)獍l(fā)生器使用過程中有什么問題和故障出現(xiàn),都可以與我們聯(lián)系,我們將及時為您解決! 4S店空壓機(jī)代理
在氮?dú)獍l(fā)生器剛出現(xiàn)時,大多數(shù)發(fā)生器企業(yè)都推出了針對不同質(zhì)譜廠家、不同機(jī)型的各種型號;所以,您會看到機(jī)型的型號都是于某某型號的LCMS。但目前的趨勢是,這些發(fā)生器企業(yè)的新一代機(jī)型都更普適性,一種機(jī)型適用于多種LCMS型號。另一種趨勢是:更加小巧、更加節(jié)能、噪音更低。4S店空壓機(jī)代理