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　氫氣也可以應(yīng)用在化學(xué)氣相沉積薄膜生長(zhǎng)?；瘜W(xué)氣相沉積是一種利用固態(tài)-氣態(tài)反應(yīng)、氣態(tài)-氣態(tài)反應(yīng)生成薄膜的設(shè)備，如在CVD工藝中作為還原性氣體制備二維材料MOS2、WS2等;等離子增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積(PECVD)工藝中作為還原性氣體制備石墨烯、單晶硅、碳化硅等;電子回旋共振化學(xué)氣相沉積(ECR-CVD)中作為反應(yīng)氣體在單晶硅襯底上制備金剛石薄膜;金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積(MOCVD)設(shè)備中作為載氣制備光電材料GaN、AlGaN等。同時(shí)氫氣也可以在原子層沉積中使用。 賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售

　而氫氣作為半導(dǎo)體制造中的氣源，在半導(dǎo)體材料及器件制備中起到至關(guān)重要的作用。可在光電器件、傳感器、IC制造中應(yīng)用。

　　目前半導(dǎo)體工藝中氫氣主要用于退火、外延生長(zhǎng)、干法刻蝕等工藝。賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售

　　退火是通過高溫加熱釋放材料內(nèi)部應(yīng)力從而改善材料質(zhì)量的一種材料處理辦法，氫氣作為保護(hù)氣可以起到防止氧化等作用，多用于薄膜生長(zhǎng)后釋放應(yīng)力。

　　　氫氣在等離子體刻蝕(RIE/ICP)中作為反應(yīng)氣體出現(xiàn)，等離子體刻蝕原理是利用反應(yīng)氣體離化后與材料發(fā)生反應(yīng)生成揮發(fā)性物質(zhì)，從而實(shí)現(xiàn)材料圖形化，是半導(dǎo)體器件制備的必備工藝。賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售

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氮?dú)獍l(fā)生器：從字面意思理解氫氣發(fā)生器的作用就是產(chǎn)生高純度的氮?dú)猓獨(dú)夥治鰞x器是變壓吸附空分制氮(簡(jiǎn)稱P.S.A制氮) 是一種先進(jìn)的氣體分離技術(shù)，以進(jìn)口碳分子篩(CMS)為吸附劑，采用常溫下變壓吸附原理(PSA)分離空氣制取高純度的氮?dú)?。賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售

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　空氣發(fā)生器：空氣發(fā)生器通過壓縮機(jī)對(duì)空氣(或其他氣體)進(jìn)行壓縮，儲(chǔ)存在儲(chǔ)氣罐中，以便使用。主要有壓縮機(jī)、儲(chǔ)氣罐、過濾器、干燥室等主要部分組成。

純水氫氣發(fā)生器是由電解槽、純水罐、氫/水分離器、收集器、干燥器、傳感器、調(diào)壓閥、開關(guān)電源等組成。只有用純水電解才能產(chǎn)生氫氣。通電后，電解槽的陰極產(chǎn)生氫氣，陽極產(chǎn)生氧氣，氫氣進(jìn)入氫氣/水分離器。賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售

　純水氫氣發(fā)生器的安裝及使用細(xì)節(jié)注意：

　　1、將儀器從包裝箱中取出，檢查是否因運(yùn)輸不當(dāng)而損壞，檢查備件、合格證、保修卡是否齊全。

　　2、連接儀器氣路管，保證接頭不漏氣。賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售

　　3、打開純水制氫機(jī)水桶蓋，加入純水和去離子水，不要超過觀察水位線，也不要低于下水位線，擰緊上蓋。

　　4、打開電源，打開電源開關(guān)，電源開關(guān)紅燈亮，產(chǎn)氣燈亮。輸出流量LCD顯示顯示顯示數(shù)為400，壓力表指針由0mpa升至0.4MPa，儀表正常使用。賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售

　　5、儀器有一套干燥管。使用時(shí)注意觀察干燥管內(nèi)硅膠是否變色。如果變色部分超過整個(gè)部分的一半，應(yīng)及時(shí)更換硅膠。更換時(shí)，應(yīng)無壓進(jìn)行，打開干燥管上蓋;取出內(nèi)管，將變色部分倒入新的變色硅膠或回收硅膠中，然后將內(nèi)管放入干燥管內(nèi)，確保放置到位，擰緊上蓋，確保不漏氣。

　　6、純水氫氣發(fā)生器使用一段時(shí)間后，桶內(nèi)純水減少，應(yīng)及時(shí)補(bǔ)充或更換純水，以改變濁度。建議：3-6個(gè)月水桶內(nèi)的水全部排干，清洗水桶后再加新水。儀器運(yùn)輸時(shí)，應(yīng)將水桶內(nèi)的水排干。排水方法：將儀器后面的硅膠管拔出，取下尼龍塞。賽鷺鑫氣體發(fā)生器銷售