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不同燒結(jié)溫度下,通過鐵基結(jié)合劑胎體對(duì)金剛石的把持力系數(shù)的變化可以看出:未鍍和鍍鈦金剛石的把持力系數(shù)隨燒結(jié)溫度的升高有相同的變化規(guī)律,在730 °C 時(shí)把持力系數(shù)。在通常情況下,基片溫度高時(shí),吸附原子的動(dòng)能隨之增大,形成的薄膜容易結(jié)晶化,并使晶格缺陷減少。在不同的燒結(jié)溫度下,鍍鈦金剛石節(jié)塊的把持力系數(shù)均高于未鍍的,說明金剛石表面鍍鈦后,胎體對(duì)金剛石的把持能力提高,即胎體與金剛石間的結(jié)合強(qiáng)度增加。此外,把持力系數(shù)與燒結(jié)溫度之間沒有線性關(guān)系。
點(diǎn)可蒸發(fā)任何材料薄膜純度高直接作用于材料表面,熱
缺點(diǎn)電子槍結(jié)構(gòu)復(fù)雜,造價(jià)高化合物沉積時(shí)易分解,化學(xué)比失調(diào)
3激光蒸發(fā)鍍膜
采用高能激光束對(duì)材料進(jìn)行蒸發(fā),用以形成薄膜的方法,一般稱為激光蒸鍍。
優(yōu)點(diǎn)薄膜純度高蒸發(fā)速率高特別適合蒸發(fā)成分復(fù)雜的合金或化合物,膜層的化學(xué)計(jì)量比與靶材保持一致
缺點(diǎn)
易產(chǎn)生微小顆粒飛濺,影響薄膜質(zhì)量
電弧蒸發(fā)鍍膜
在高真空下通過兩導(dǎo)電材料制成的電極之間產(chǎn)生電弧放電,利用電弧高溫使電極材料蒸發(fā)。電弧源的形式有交流電弧放電、直流電弧放電和電子轟擊電弧放電等形式。
優(yōu)點(diǎn)薄膜純度高造價(jià)低適用于具有一定導(dǎo)電性的難熔金屬、石墨等
會(huì)飛濺出微米級(jí)的靶材料顆粒,影響薄膜質(zhì)量
利用高頻電磁場(chǎng)感應(yīng)加熱,使材料汽化蒸發(fā)在基片表面凝結(jié)成膜的技術(shù)。