蒸發(fā)物質如金屬、化合物等置于坩堝內或掛在熱絲上作為蒸發(fā)源，待鍍工件，如金屬、陶瓷、塑料等基片置于坩堝前方。待系統(tǒng)抽至高真空后，加熱坩堝使其中的物

質蒸發(fā)。蒸發(fā)物質的原子或分子以冷凝方式沉積在基片表面。薄膜厚度可由數(shù)百埃至數(shù)微米。

膜厚決定于蒸發(fā)源的蒸發(fā)速率和時間（或決定于裝料量），并與源和基片的距離有關。對于大面積鍍膜，常采用旋轉基片或多蒸發(fā)源的方式以保證膜層厚度的均勻性。

清洗時注意不要用粗糙或尖銳的物料去擦洗產品表面，特別是鏡光的，要用柔軟一點的、不易脫毛的絨布去擦洗，砂鋼和拉絲表面，要順著紋路去擦，不然很容易搞花表面。

表面有灰塵以及易除掉污垢物的，可用絨布、清水來清洗；對于粘結劑成份，使用酒精或（、苯）擦洗。

表面的油脂、油、潤滑油污染，用絨布擦干凈以后用中性洗滌劑、或用專用洗滌劑清洗。

表面若被漂白劑或者酸附著，立即用水沖洗，再用或中性碳酸蘇打水溶液浸洗，用中性洗滌劑或溫水洗滌。

在真空電鍍前的堿液除油脫脂中使用的工藝條件要根據(jù)鍍件的材料及表面含油的情況而定，真空電鍍等耐堿性材料的零件可使用強堿性清洗液，真空電鍍除油溫度也可以較高，以便提高除油的效率和速度，而對鋅、鋁、銅等材料的零件等不能使用氫氧i化鈉等強堿性溶液，溫度也不能太高以免產生腐蝕，真空電鍍在使用硬水配制的酸堿洗液時，應加入絡合劑。一般的堿液除油后，真空電鍍零部件的表面尚未達到表面處理要求的出貨標準，真空電鍍還必須進行電解脫脂處理工藝后才能達到出貨要求或者進行下一個工序。真空鍍膜技術一般分為兩大類，即物理氣相沉積（PVD）技術和化學氣相沉積（CVD）技術。