流量控制器在高壓條件下如何使用?

質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號;  三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點,  MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。如果不特殊聲明,MFC都采用氟橡膠密封,可以用于大多數(shù)酸性和堿性腐蝕性氣體,例如可以用于鹵族干燥氣體。

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流量控制器

熱式質(zhì)量流量器的基本原理是利用外部熱源對管道內(nèi)的被測流體加熱，熱能隨流體一起流動，通過測量因流體流動而造成的熱量（溫度）變化來反映出流體的質(zhì)量流量。

當流體成分確定時，流體的定壓比熱為已知常數(shù)。因此由上式可知，若保持加熱功率恒定，則測出溫差便可求出質(zhì)量流量；若采用恒定溫差法，即保持兩點溫差不變，則通過測量加熱的功率也可以求出質(zhì)量流量。由于恒定溫差法較為簡單、易實現(xiàn)，所以實際應用較多。這種流量計多用于較大氣體流量的測量。4毫秒到達設定值，從示波器波形圖中可以清晰地觀察到：50%那段跨度，低于10%和高于90%那兩段的跨度則小了很多。

為避免測溫和加熱元件因與被測流體直接接觸而被流體玷污和腐蝕，可采用非接觸式測量方法，即將加熱器和測溫元件安裝在薄壁管外部，而流體由薄壁管內(nèi)部通過。非接觸式測量方法，適用于小口徑管道的微小流量測量。當用于大流量測量時，可采用分流的方法，即僅測量分流部分流量，再求得總流量，以擴大量程范圍。質(zhì)量流量計組態(tài)靈活，功能強大,性能價格比高，是新一代流量儀表。

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怎樣選擇流量顯示儀？

我們的流量顯示儀非常豐富，可供用戶選擇的余地很大。

我們有單通道（配接一臺MFM/MFC）和多通道（配接多臺MFM/MFC）產(chǎn)品；多通道產(chǎn)品中又有共用顯示和分別顯示之分（前者體積較小，價格稍便宜，但顯示需切換；后者體積較大，但顯示直觀）；有臺式﹑儀表式﹑和上架機箱式；怕在使用強腐蝕性、有毒等危害性氣體時不按安全規(guī)則操作,有可能造成產(chǎn)品損壞和其它更嚴重的損失。有輸入輸出只能是電壓信號的，也有電壓和電流信號都行的；多數(shù)產(chǎn)品使用交流220V電源，也有產(chǎn)品可使用交流110V電源；有MFC和MFM都能配的，也有單配MFM的。

還有流量積算儀可進行瞬時流量和累積流量的顯示。

將流量顯示儀安裝在機柜上的用戶，請注意安裝的開孔尺寸。

怎樣進行不同氣體的質(zhì)量流量換算？

產(chǎn)品出廠一般是按氮氣標定﹑按氮氣流量確定流量規(guī)格。用同一規(guī)格的MFM/MFC測量不同的氣體，當流量檢測值相同時，實際的流量值可能不同。我們在說明書中給出了不同氣體相對于標定氣體（氮氣）的質(zhì)量流量轉換系數(shù)。

如果您使用的產(chǎn)品是標準出廠產(chǎn)品（按氮氣標定顯示），而需要知道實際使用氣體的質(zhì)量流量時，先在產(chǎn)品說明書中找到實際使用氣體的轉換系數(shù)。在測量過程中，以此系數(shù)乘以流量顯示值即是實際使用氣體的質(zhì)量流量；1，此時自然對流換熱與由于流體運動所導致的受迫對流換熱相比十分微弱。反之，在確定所購產(chǎn)品的量程時，以實際使用氣體的期望流量值除以轉換系數(shù)，即是相應的氮氣標定產(chǎn)品的流量值。

空氣、O2﹑H2﹑CO﹑HCL、HF等氣體，其轉換系數(shù)約為1.0 , 一般可直接用按氮氣標定顯示的產(chǎn)品，不必換算。