什么是流量控制器？

質(zhì)量流量計，即Mass Flow Meter（縮寫為MFM）, 是一種準確測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償。

質(zhì)量流量控制器, 即Mass Flow Controller（縮寫為MFC）, 不但具有質(zhì)量流量計的功能，更重要的是，它能自動控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，MFC自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。流量控制器內(nèi)存在水汽有多糟排出液體如果您的ALICAT質(zhì)量流量計、質(zhì)量流量控制器內(nèi)滲入了液態(tài)物質(zhì)，切勿置之不理，倘若液體在氣路內(nèi)滯留太久，可能導(dǎo)致不同金屬間相互反應(yīng)。簡單地說,質(zhì)量流量控制器就是一個穩(wěn)流裝置, 是一個可以手動設(shè)定或與計算機聯(lián)接自動控制的氣體穩(wěn)流裝置。

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流量控制器容易受這幾個方面的影響

質(zhì)量流量控制器是一種測量氣體流量的儀表，其測量值不因溫度或壓力的波動而失準，不需要溫度壓力補償，可根據(jù)需要進行流量設(shè)定，自動地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化，也不會使其偏離設(shè)定值。2）浸入式帶測量管的浸入式流量傳感器和插入式儀表需要一定長度前置直管段，ISO/DIS14511對此未作具體規(guī)定，而按制造廠建議的值。可以地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制，是用于對于不同氣體的比例控制。直接測量氣體的質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號，不用其他設(shè)備?？梢缘臏y量微小流量，采用分流裝置，又可以測量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。

一、壓力狀況

在加氣機中使用的質(zhì)量流量控制器測量的氣體的壓力不低于20MPa，壓力遠遠大于大氣壓。質(zhì)量流量控制器具有體積小,數(shù)字化程度高,安裝方便,測雖確等優(yōu)點。高壓改變了振動管的內(nèi)應(yīng)力，提高了彈性管的等效剛度，從而使振動管的振動頻率增大，兩管的相位差減??；氣體流經(jīng)振動管時，存在壓降，使得振動管受力不對稱，這也對相位差有影響。

二、溫度影響

用于加氣機的CMF工作溫度遠低于室溫，溫度影響必須考慮；介質(zhì)溫度或環(huán)境溫度變化會改變測量振動管的楊氏模量和影響零漂的結(jié)構(gòu)等各種因素。

三、流速問題

壓縮氣體密度低，流速快，其影響不能忽略。理想情況下，流速增大則振動管的振動頻率減小。通常流體密度變化小，可以認為流速與流體質(zhì)量流量正比，因此流速的補償可以轉(zhuǎn)化為流量變化的非線性因素進行補償。

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如何提高流量控制器的準確度？

提高氣體質(zhì)量流量控制器實用準確度的措施為：

1.針對氣體質(zhì)量流量控制器的實際工藝參數(shù)，對該流量計進行“個性化標準”，從而實現(xiàn)在實際使用流量點的一定范圍內(nèi)，該氣體質(zhì)量流量控制器的實際測量誤差(與標準值的差)趨于零。

2.把好氣體質(zhì)量流量控制器的安裝環(huán)節(jié)，減少或消除機械應(yīng)力、機械扭力和機械振動等對該流量計使用的影響。

3.考慮工藝壓力、溫度等對氣體質(zhì)量流量控制器測量準確度的影響。

4.把好氣體質(zhì)量流量控制器的投用關(guān)。

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流量控制器

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。采用金屬密封的MFC原則上可以用于任何氣體,包括各種腐蝕性氣體和特種氣體。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。