流量控制器

氣體質(zhì)量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標(biāo)準(zhǔn)升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的流量。標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。若采用恒定溫差法，即保持兩點(diǎn)溫差不變，則通過測量加熱的功率也可以求出質(zhì)量流量。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

對多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習(xí)慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量（如g/min）,這個要求是很容易實(shí)現(xiàn)的。因?yàn)闃?biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù), 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實(shí)現(xiàn)。就該圖而言，如果按照從設(shè)定值10%到達(dá)90%所用的時間來定義設(shè)備響應(yīng)速度的話，那么結(jié)論是6~7毫秒。所以說,在標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。

質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器的優(yōu)點(diǎn)

流量的測量和控制不因溫度或壓力的波動而失準(zhǔn)。

對于多數(shù)流量測控系統(tǒng)而言，很難避免系統(tǒng)的壓力波動及環(huán)境和介質(zhì)的溫度變化。對于普通的流量計，壓力及溫度的波動將導(dǎo)致較大的誤差；對于質(zhì)量流量計 / 質(zhì)量流量控制器，則一般可以忽略不計。

準(zhǔn)確地定量控制流量

質(zhì)量流量控制器可以準(zhǔn)確地控制氣體的給定量，這對很多工藝過程的流量控制﹑對于不同氣體的比例控制等特別有用。