什么是流量控制器

質(zhì)量流量控制器，即MassFlowController(MFC)，不但具有質(zhì)量流量計(jì)的功能，更重要的是，它能自動(dòng)控制氣體流量，即用戶可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，MFC自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值。質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對(duì)于氣體或者液體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制。擴(kuò)散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設(shè)備，光纖熔煉，微反應(yīng)裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細(xì)管測(cè)量氣象色譜儀，光導(dǎo)纖維制造設(shè)備中。并廣泛用于石油化工。提高開表率在儀表設(shè)備管理中，開表率的定義是：(儀表總臺(tái)數(shù)一未正常使用的儀表臺(tái)數(shù))/儀表總臺(tái)數(shù)。冶金，制藥等。特點(diǎn)：精度高，重復(fù)性好。

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流量控制器容易受這幾個(gè)方面的影響

質(zhì)量流量控制器是一種測(cè)量氣體流量的儀表，其測(cè)量值不因溫度或壓力的波動(dòng)而失準(zhǔn)，不需要溫度壓力補(bǔ)償，可根據(jù)需要進(jìn)行流量設(shè)定，自動(dòng)地將流量恒定在設(shè)定值上，即使系統(tǒng)壓力有波動(dòng)或環(huán)境溫度有變化，也不會(huì)使其偏離設(shè)定值?？梢缘乜刂茪怏w的給定量，這對(duì)很多工藝過(guò)程的流量控制，是用于對(duì)于不同氣體的比例控制。直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量，輸出質(zhì)量流量信號(hào)，不用其他設(shè)備。質(zhì)量流量計(jì)是不能控制流量的，它只能檢測(cè)液體或者氣體的質(zhì)量流量，通過(guò)模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。可以的測(cè)量微小流量，采用分流裝置，又可以測(cè)量大流量，而且溫度，壓力范圍很大。

一、壓力狀況

在加氣機(jī)中使用的質(zhì)量流量控制器測(cè)量的氣體的壓力不低于20MPa，壓力遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于大氣壓。高壓改變了振動(dòng)管的內(nèi)應(yīng)力，提高了彈性管的等效剛度，從而使振動(dòng)管的振動(dòng)頻率增大，兩管的相位差減?。粴怏w流經(jīng)振動(dòng)管時(shí)，存在壓降，使得振動(dòng)管受力不對(duì)稱，這也對(duì)相位差有影響。與熱式原理不同，ALICAT質(zhì)量流量計(jì)、質(zhì)量流量控制器采用層流壓差技術(shù)，依托專利的層流片結(jié)構(gòu)將氣體由湍流轉(zhuǎn)為層流運(yùn)動(dòng)，通過(guò)測(cè)量層流片兩端氣體壓力差的方法來(lái)測(cè)量流量。

二、溫度影響

用于加氣機(jī)的CMF工作溫度遠(yuǎn)低于室溫，溫度影響必須考慮；介質(zhì)溫度或環(huán)境溫度變化會(huì)改變測(cè)量振動(dòng)管的楊氏模量和影響零漂的結(jié)構(gòu)等各種因素。

三、流速問(wèn)題

壓縮氣體密度低，流速快，其影響不能忽略。理想情況下，流速增大則振動(dòng)管的振動(dòng)頻率減小。通常流體密度變化小，可以認(rèn)為流速與流體質(zhì)量流量正比，因此流速的補(bǔ)償可以轉(zhuǎn)化為流量變化的非線性因素進(jìn)行補(bǔ)償。

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流量控制器內(nèi)有水怎么辦及注意事項(xiàng)

一、當(dāng)無(wú)法忍受滲水后不得不購(gòu)買一批新的設(shè)備，現(xiàn)在就不需要使用這種方法了，當(dāng)再有液態(tài)氨進(jìn)入到質(zhì)量流量計(jì)或質(zhì)量流量控制器內(nèi)部時(shí)，只需簡(jiǎn)單地用高壓氨氣沖洗管路后進(jìn)行消毒即可。

二、排除液體的方法是怎樣的呢？液體中含有懸浮顆粒物，抽濕過(guò)程可能會(huì)留下固體顆粒，從而導(dǎo)致質(zhì)量流量計(jì)或質(zhì)量流量控制器內(nèi)留有殘?jiān)?。如果設(shè)備是316L不銹鋼結(jié)構(gòu)的耐腐蝕系列，那您大可高枕無(wú)憂，因?yàn)槟透g系列的結(jié)構(gòu)與液體流量計(jì)、液體流量控制器基本相同，可較大的程度地允許液體滲入。把好氣體質(zhì)量流量控制器的安裝環(huán)節(jié)，減少或消除機(jī)械應(yīng)力、機(jī)械扭力和機(jī)械振動(dòng)等對(duì)該流量計(jì)使用的影響。

質(zhì)量流量計(jì)在平時(shí)使用的時(shí)候需要注意哪些事項(xiàng)呢？

一、在使用質(zhì)量流量計(jì)的時(shí)候需要防止人為的斷電以及拆線，因?yàn)椴扇嚯娨约安鹦盘?hào)線的方法會(huì)使得設(shè)備短時(shí)間不計(jì)量還會(huì)導(dǎo)致計(jì)量糾紛。

二、設(shè)備在使用條件上必須進(jìn)行零點(diǎn)標(biāo)定，該設(shè)備時(shí)屬于在線使用高精的測(cè)量?jī)x表，長(zhǎng)期使用時(shí)一定要定期的進(jìn)行標(biāo)定。

三、超過(guò)質(zhì)量使用范圍會(huì)導(dǎo)致儀表測(cè)量的精度下降，還會(huì)導(dǎo)致儀表?yè)p壞等。

四、設(shè)備的精度高，所以價(jià)位也會(huì)高，并且還需要精心的維護(hù)，在振動(dòng)以及使用條件進(jìn)行經(jīng)常檢查等，確保精度以及儀表的安全。

五、設(shè)備的應(yīng)用成功與否跟安裝是有直接關(guān)系的，，需要整齊的安裝外，還需要減少振動(dòng)的影響。

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