質量流量計簡介

質量流量：

以單位時間內流過某截面的流體質量表示的流量。氣體質量流量一般將其換算成標準狀態(tài)下的 體積/分鐘 來表示。例如：毫升/分鐘即 mL/min （SCCM行業(yè)標準）, 升/分鐘即 L/min （SLM行業(yè)標準）. 標準狀態(tài)為：氣體溫度—— 273.15K (0℃)； 氣壓——101325Pa(1atm)

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質量流量控制器簡介

質量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC)，它通常由電路板、傳感器、進出氣管道接頭、分流器管道、機殼、調節(jié)閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。

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質量流量計故障處理方法

硬件故障若出現(xiàn)誤差偏大，積算器顯示不亮或不增值，顯示器空白位等現(xiàn)象，其原因：

a.安裝不規(guī)范，可直接導致流量計零漂，如質量流量計安裝在泵出口處較近，傳感器支撐強度不夠，連接法蘭焊接不當產(chǎn)生應力信號，電纜受電磁干擾。

b.接線問題若出現(xiàn)顯示器不亮現(xiàn)象，應檢查積算器電源連線，若出現(xiàn)保險絲被燒，應確認輸入電壓與標準電壓標稱值，交直流形式是否一致。又若出現(xiàn)積算器不隨流量增加時，應檢查積算器接線，若積算器裝有正/反向程序，應檢查流量計接線，因流量計接線不正確，會使積算器在反向流時不遞增。

c.工藝介質變化若測量介質出現(xiàn)夾氣，氣化或兩相流等現(xiàn)象，變送器會出現(xiàn)報警顯示，嚴重時，傳感器停止工作。

d.變送器失效。

e.傳感器失效。

f.管道吹掃問題。

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