質(zhì)量流量控制器簡(jiǎn)介

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使用范圍： 質(zhì)量流量控制器廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、真空鍍膜、分析、化工、環(huán)境等 行業(yè)的氣流測(cè)量與控制。

特點(diǎn)：流量精度高、線性好、零漂小、氣流響應(yīng)速度快、過(guò)沖小。

質(zhì)量流量計(jì)簡(jiǎn)介

流體的體積是流體溫度和壓力的函數(shù)，是一個(gè)因變量，而流體的質(zhì)量是一個(gè)不隨時(shí)間、空間溫度、壓力的變化而變化的量。如前所述，常用的流量計(jì)中，如孔板流量計(jì)、層流質(zhì)量流量計(jì)、渦輪流量計(jì)、渦街流量計(jì)、電磁流量計(jì)、轉(zhuǎn)子流量計(jì)、超聲波流量計(jì)和橢圓齒輪流量計(jì)等的流量測(cè)量值是流體的體積流量。在科學(xué)研究、生產(chǎn)過(guò)程控制、質(zhì)量管理、經(jīng)濟(jì)核算和貿(mào)易交接等活動(dòng)中所涉及的流體量一般多為質(zhì)量。采用上述流量計(jì)僅僅測(cè)得流體的體積流量往往不能滿足人們的要求，通常還需要設(shè)法獲得流體的質(zhì)量流量。以前只能在測(cè)量流體的溫度、壓力、密度和體積等參數(shù)后，通過(guò)修正、換算和補(bǔ)償?shù)确椒ㄩg接地得到流體的質(zhì)量。這種測(cè)量方法，中間環(huán)節(jié)多，質(zhì)量流量測(cè)量的準(zhǔn)確度難以得到保證和提高。隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，相繼出現(xiàn)了一些直接測(cè)量質(zhì)量流量的計(jì)量方法和裝置，從而推動(dòng)了流量測(cè)量技術(shù)的進(jìn)步。

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質(zhì)量流量計(jì)的測(cè)量原理

質(zhì)量流量計(jì)是采用感熱式測(cè)量，通過(guò)分體分子帶走的分子質(zhì)量多少?gòu)亩鴣?lái)測(cè)量流量，因?yàn)槭怯酶袩崾綔y(cè)量，所以不會(huì)因?yàn)闅怏w溫度、壓力的變化從而影響到測(cè)量的結(jié)果 。質(zhì)量流量計(jì)是一個(gè)較為準(zhǔn)確、快速、可靠、、穩(wěn)定、靈活的流量測(cè)量?jī)x表，在石油加工、化工等領(lǐng)域?qū)⒌玫礁訌V泛的應(yīng)用，相信將在推動(dòng)流量測(cè)量上顯示出巨大的潛力。質(zhì)量流量計(jì)是不能控制流量的，它只能檢測(cè)液體或者氣體的質(zhì)量流量，通過(guò)模擬電壓、電流或者串行通訊輸出流量值。但是，質(zhì)量流量控制器，是可以檢測(cè)同時(shí)又可以進(jìn)行控制的儀表。質(zhì)量流量控制器本身除了測(cè)量部分，還帶有一個(gè)電磁調(diào)節(jié)閥或者壓電閥，這樣質(zhì)量流量控制本身構(gòu)成一個(gè)閉環(huán)系統(tǒng)，用于控制流體的質(zhì)量流量。質(zhì)量流量控制器的設(shè)定值可以通過(guò)模擬電壓、模擬電流，或者計(jì)算機(jī)、PLC提供。

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質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡(jiǎn)稱MFC)，它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機(jī)殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。

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