質(zhì)量流量控制器簡介

質(zhì)量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(簡稱MFC)，它通常由電路板、傳感器、進(jìn)出氣管道接頭、分流器管道、機(jī)殼、調(diào)節(jié)閥等部件組成。它的工作電源及流量顯示和設(shè)定等操作由與其配套的流量顯示電源提供。

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