傳統(tǒng)過濾器因為效率和壓降問題，不僅自身需要頻繁更換，且要消耗大量的風(fēng)能。而恒效運行的自動除塵凈化系統(tǒng)由于無需自動過濾器，機組壓力適中保持在15-20Pa，不消耗風(fēng)能。例如：一個約有1120m3空間欲做10萬等級的無塵車間，采用新技術(shù)只要采用5.5KW主機(造的起，用得起)，傳統(tǒng)模式需18KW主機。新技術(shù)可以做到不更換任何耗材三年后檢測數(shù)據(jù)等同于新機效果，開機時間持續(xù)越長潔凈度越高，這是傳統(tǒng)技術(shù)無法比擬的。

　微電子C/R建設(shè)費可能花費到$10億。fab能更快的被建造起來，產(chǎn)品也就能更快達(dá)到這市場。許多半導(dǎo)體公司的口號是較便宜和較好的。然而“錢”將成為一個很重要的考慮因素。一些廠商認(rèn)為適應(yīng)性可節(jié)省一筆金錢，而適應(yīng)性意指系統(tǒng)可任意移動或改變而不會招致到大的損失。C/R的擁有者和設(shè)計者的能力為改變一C/R的關(guān)鍵，所以他們從不將一開始的設(shè)計定型。

清潔車間不同空氣潔凈度的空氣過濾器的選擇和布置：對于300,000級空氣凈化處理，可以使用亞過濾器代替過濾器; 100,10000和100000空氣的空氣潔凈度對于凈化處理，應(yīng)使用用于初級，中級和過濾器的三級過濾器;中效或空氣過濾器應(yīng)根據(jù)小于或等于額定風(fēng)量選擇;中效空氣過濾器應(yīng)集中在凈化空調(diào)的正壓段;應(yīng)在吹掃空調(diào)系統(tǒng)的末端放置或低效的空氣過濾器。