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流量控制器在高壓條件下如何使用?
質(zhì)量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產(chǎn)品型號; 三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調(diào)節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。只要做到以上三點, MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。
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流量控制器特點
1、 穩(wěn)定的流量供給,不受溫度、壓力變化
2、 寬量程比,可達100:1
3、 高達0.1%的重復性和1.0級的精度等級
4、 多參數(shù)顯示和輸出:溫度、壓力、流量等
5、 內(nèi)置70余種氣體,觸屏式直接操作切換,無需重新校準
6、 標配三種顯示方式:數(shù)字、模擬和本地面板
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流量控制器的特點
地定量控制流量
質(zhì)量流量控制器可以地控制氣體的給定量,這對很多工藝過程的流量控制、對于不同氣體的比例控制等特別有用。
適用范圍寬
有很寬的工作壓力范圍,我們的產(chǎn)品可以從真空直到10MPa; 可以適用于多種氣體介質(zhì)(包括一些腐蝕性氣體,如HCL);有很寬的流量范圍,我們的產(chǎn)品流量范圍可達0~5 sccm,流量范圍可達0~200 slm。流量顯示的分辨率可達滿量程的0.1%, 流量控制范圍是滿量程的2~100% 量程比為-- 50:1, 因此在很多領域得到廣泛應用。二、溫度影響用于加氣機的CMF工作溫度遠低于室溫,溫度影響必須考慮。
流量控制器的具體內(nèi)容
1.提高開表率在儀表設備管理中,開表率的定義是:(儀表總臺數(shù)一未正常使用的儀表臺數(shù))/儀表總臺數(shù)。因此,提高開表率就是要減少無法投入正常使用的儀表。
2.節(jié)省費用這里所說的費用除了儀表購置費之外,還應計入附件購置費、安裝調(diào)試費、運行費、備品備件費、維護和定期校準(檢定)費,而質(zhì)量流量控制器的平均壽命攤?cè)氲恼叟f費也不是可忽視的。
3.提高流量測量系統(tǒng)的可靠性用于安全聯(lián)鎖報警的流量儀表如果不可靠,應該聯(lián)鎖動作時不動作,容易釀成事故,不該動作時亂動作,容易導致不應有的停車,造成損失。工業(yè)爐窯中的燃料流量計如果不可靠,造成流路堵塞,容易導致爐子熄火,釀成事故。用于過程控制的流量儀表如果不可靠,容易為調(diào)節(jié)系統(tǒng)發(fā)出錯誤信息,導致調(diào)節(jié)系統(tǒng)失調(diào),破壞生產(chǎn)過程的穩(wěn)定,影響產(chǎn)品的質(zhì)量、產(chǎn)量和物耗,造成損失。國際標草案ISO/DIS11451認為流量測量不受旋轉(zhuǎn)流和流速場剖面畸變影響??梢钥闯觯髁績x表的可靠性是較為重要的。
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