真空鍍膜設(shè)備選購(gòu)要點(diǎn)分析

真空鍍膜設(shè)備選購(gòu)要點(diǎn)分析如下：

1、爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙層水冷結(jié)構(gòu)。

2、根據(jù)工藝要求選擇不同規(guī)格及類型的鍍膜設(shè)備，其類型有電阻蒸發(fā)、電子束蒸發(fā)、磁控濺射、磁控反應(yīng)濺射、離子鍍、空心陰極離子鍍、多弧離子鍍等。

3、夾具運(yùn)轉(zhuǎn)形式有自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn) 自轉(zhuǎn)方式，用戶可根據(jù)基片尺寸及形狀提出相應(yīng)要求，轉(zhuǎn)動(dòng)的速度范圍及轉(zhuǎn)動(dòng)精度：普通可調(diào)及變頻調(diào)速等。

4、真空系統(tǒng)由機(jī)械泵、擴(kuò)散泵、油增壓泵、增擴(kuò)泵、羅茨泵、堝輪分子泵等及與它們相匹配的各種氣動(dòng)、手動(dòng)、電動(dòng)閥門、管道等組成。

5、根據(jù)工藝要求選擇鍍制方式及形式，如電阻蒸發(fā)（鎢絲、鉬舟、石墨舟）磁控源（同軸圓柱型磁控源、園柱型平面磁控源、矩型平面磁控源等）以靶材材質(zhì)及尺寸多弧源（Ф60，Ф80直徑靶材，氣動(dòng)、電動(dòng)的引弧等），真空測(cè)量可選擇數(shù)字式智能真空計(jì)及其的測(cè)量規(guī)管，及其它測(cè)量?jī)x器，如自動(dòng)壓強(qiáng)控制儀等。膜厚測(cè)量可選用方塊電阻測(cè)量?jī)x，透過率計(jì)等。

6、充氣方式可選用質(zhì)量流量計(jì)、浮子流量計(jì) 針閥及相應(yīng)的充氣閥門，并可選擇多路充氣管路及相應(yīng)流量參數(shù)。

7、根據(jù)需烘烤的結(jié)構(gòu)提出烘烤溫度、材質(zhì)以及所需配備相應(yīng)儀表測(cè)量。

8、根據(jù)設(shè)備使用特點(diǎn)，可選擇手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)或其組合的控制方式。

9、完善的報(bào)警系統(tǒng)，對(duì)真空室體、擴(kuò)散泵斷相、缺水、氣壓、電源負(fù)載的過壓、過流等異常情況進(jìn)行聲光報(bào)警。

真空鍍膜機(jī)對(duì)環(huán)境的要求

真空鍍膜機(jī)在使用的時(shí)候，難免會(huì)因?yàn)槭褂玫膯栴}使得真空鍍膜機(jī)沾上其他污染物，所以經(jīng)常清洗真空鍍膜機(jī)也成為保養(yǎng)機(jī)器的一個(gè)重要部分，在真空鍍膜機(jī)使用鍍膜材料鍍膜之前，對(duì)鍍膜材料做簡(jiǎn)單的表面清潔能延長(zhǎng)鍍膜機(jī)使用壽命，因?yàn)楦鞣N污染物不僅使真空系統(tǒng)不能獲得所要求的真空度，還會(huì)影響真空部件連接處的強(qiáng)度和密封性能。

一般在使用中，真空鍍膜機(jī)常見的污染物有：

1、油脂包括加工、裝配、操作的時(shí)候沾染上的潤(rùn)滑劑、切削液、真空油脂等；

2、操作時(shí)候的手汗，吹氣的時(shí)候的水汽和唾液等等；酸、堿、鹽類物質(zhì)清洗時(shí)的殘余物質(zhì)、手汗、水中的礦物質(zhì)等；還有拋光殘?jiān)碍h(huán)境空氣中的塵埃和其它有機(jī)物。

清潔這些污染物可以改進(jìn)真空鍍膜機(jī)工作穩(wěn)定性，使工作可以更順利的進(jìn)行。

真空鍍膜機(jī)設(shè)計(jì)安全

安全保護(hù)系統(tǒng)對(duì)任何儀器設(shè)備都是很重要的。為保證整機(jī)設(shè)備和人身安全，對(duì)于用戶來說，我們?cè)O(shè)計(jì)分配了2級(jí)的安全級(jí)別，即管理者和操作者。管理者可以修改工藝和參數(shù)，而操作者只能執(zhí)行程序，查閱程序參數(shù)。

不論是工作在自動(dòng)工作方式，還是手動(dòng)維護(hù)方式，輸出量的互鎖保護(hù)都是非常重要的。為防止誤操作，我們?cè)O(shè)計(jì)了互鎖電路和程序互鎖的2級(jí)互鎖。條件不充分按錯(cuò)鍵時(shí)，系統(tǒng)給予提示不執(zhí)行錯(cuò)誤命令。系統(tǒng)中還增添了某些重要參數(shù)的安全區(qū)域報(bào)警或警告。通過紅黃綠三色警示燈和訊響器的控制動(dòng)作，分別實(shí)現(xiàn)各種情況的警示。如工藝過程中工藝氣體充氣流量稍低于設(shè)定流量時(shí)，給予黃燈訊響警告仍然繼續(xù)工作，壓力恢復(fù)后流量轉(zhuǎn)為正常，綠色指示燈亮。但當(dāng)流量低于設(shè)定的下限時(shí)，紅燈點(diǎn)亮報(bào)警，停止工藝進(jìn)程

鍍膜機(jī)通過用戶的使用和生產(chǎn)，證明整個(gè)程序化自動(dòng)控制系統(tǒng)滿足了用戶的使用要求。

控制系統(tǒng)界面清晰友善、編程簡(jiǎn)單、操作方便、數(shù)據(jù)查閱迅速、系統(tǒng)穩(wěn)定可靠、工藝重復(fù)性好，光學(xué)減反射膜層的透射率等性能指標(biāo)完全符合航天GaAs太陽(yáng)電池的要求，并為今后提高GaAs太陽(yáng)電池的減反射膜層性能提供了良好的平臺(tái)。

盡管如此，電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)的發(fā)展在國(guó)內(nèi)已有幾十年，技術(shù)雖不斷提高，但比較國(guó)外先進(jìn)技術(shù)還有一定差距。本文對(duì)電子束蒸發(fā)鍍膜機(jī)所應(yīng)用的控制技術(shù)國(guó)際上雖然不是很新的技術(shù)，但此方面控制系統(tǒng)的應(yīng)用，在國(guó)內(nèi)生產(chǎn)的真空應(yīng)用設(shè)備上還很少，且要能長(zhǎng)期工作穩(wěn)定可靠，還有很大的發(fā)展空間，這是和國(guó)內(nèi)真空行業(yè)在真空應(yīng)用設(shè)備上的整體發(fā)展水平相關(guān)的。