特種氣體屬于工業(yè)氣體的一種。工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎(chǔ)原料，根據(jù)不同氣體的生產(chǎn)工藝和用途，可以將工業(yè)氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類(lèi)。特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20～30 種。電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體，人們把這類(lèi)在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱(chēng)為電子特種氣體。

   自80年代1開(kāi)始，我國(guó)的氣體工業(yè)迅速發(fā)展，各類(lèi)純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問(wèn)世，其品種數(shù)目已與國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家水平相近。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體,包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。包裝標(biāo)志：有毒氣體。常溫下，干氯不腐　蝕鋼｛但在水和濕氣存在時(shí)，由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強(qiáng)腐蝕性應(yīng)保持設(shè)備中無(wú)　水，管路、閥門(mén)和容器不用時(shí)應(yīng)密封或加帽，從而與大氣中的濕氣隔離

 在半導(dǎo)體制造過(guò)程中涉及的材料眾多，在半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)過(guò)程中，從芯片生長(zhǎng)到后器件的封裝，幾乎每一步、每一個(gè)環(huán)節(jié)都離不開(kāi)電子特種氣體，因此電子特種氣體被稱(chēng)為半導(dǎo)體材料的“糧食”和“源”。特種氣體使用的封閉式氣瓶放置與管理設(shè)備，一般應(yīng)配置減壓裝置、真空發(fā)生器、、緊急切斷閥、過(guò)流開(kāi)關(guān)、風(fēng)壓事故報(bào)警、、壓力監(jiān)測(cè)及報(bào)警等安全使用所必須的設(shè)施。排風(fēng)管配置泄漏探頭。氣瓶柜有手動(dòng)、半自動(dòng)、全自動(dòng)三類(lèi)。隨著國(guó)產(chǎn)化的推進(jìn)，部分種類(lèi)的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng)，占據(jù)市場(chǎng)半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品，中國(guó)的產(chǎn)能甚至可以滿足全球范圍內(nèi)的需要，但需清醒的看到，從核心競(jìng)爭(zhēng)力，質(zhì)量管理，品牌效應(yīng)方面來(lái)說(shuō)，我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。