潔凈室中的溫濕度控制

潔凈空間的溫濕度主要是根據(jù)工藝要求來(lái)確定，但在滿足工藝要求的條件下，應(yīng)考慮到人的舒適度感。隨著空氣潔凈度要求的提高，出現(xiàn)了工藝對(duì)溫濕度的要求也越來(lái)越嚴(yán)的趨勢(shì)。具體工藝對(duì)溫度的要求以后還要列舉，但作為總的原則看，由于加工精度越來(lái)越精細(xì)，所以對(duì)溫度波動(dòng)范圍的要求越來(lái)越小。例如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來(lái)越小。直徑100 um的硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時(shí)要求濕度值一般較低，因?yàn)槿顺龊挂院?，?duì)產(chǎn)品將有污染，特別是怕鈉的半導(dǎo)體車間，這種車間溫度不宜超過(guò)25度，濕度過(guò)高產(chǎn)生的問(wèn)題更多。相對(duì)濕度超過(guò)55%時(shí)，冷卻水管壁上會(huì)結(jié)露，如果發(fā)生在精密裝置或電路中，就會(huì)引起各種事故。相對(duì)濕度在50%時(shí)易生銹。此外，濕度太高時(shí)將通過(guò)空氣中的水分子把硅片表面粘著的灰塵化學(xué)吸附在表面難以清除。相對(duì)濕度越高,粘附的越難去掉，但當(dāng)相對(duì)濕度低于30%時(shí)，又由于靜電力的作用使粒子也容易吸附于表面，同時(shí)大量半導(dǎo)體器件容易發(fā)生擊穿。對(duì)于硅片生產(chǎn)的濕度范圍為35—45%。大部分凈化廠房尤其電子工業(yè)用的潔凈廠房都有嚴(yán)格的恒溫、恒濕的要求，不僅對(duì)廠房?jī)?nèi)的溫、濕度有嚴(yán)格的要求，而且對(duì)溫度和相對(duì)濕度的波動(dòng)范圍也有嚴(yán)格的要求。

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傳遞窗分為標(biāo)準(zhǔn)傳遞窗和風(fēng)淋傳遞窗。標(biāo)準(zhǔn)傳遞窗主要用于潔凈室與非潔凈室之間物品傳遞,以減少開(kāi)門(mén)的次數(shù)，是有效減少潔凈室與非潔凈室交叉污染較好的凈化設(shè)備。傳遞窗門(mén)均為雙門(mén)互鎖，（即一次只能打開(kāi)一扇門(mén)，打開(kāi)一扇門(mén)之后，另一扇門(mén)就不能打開(kāi)）。  傳遞窗根據(jù)箱體材質(zhì)不同可分為：不銹鋼傳遞窗、外鋼板內(nèi)不銹鋼傳遞窗等。傳遞窗還可選配殺菌燈（8W），對(duì)講機(jī)等?？尚旭?-2噸叉車，重手推車等，尤其適用于一樓及凹凸不平之地面。    

特性：擁有環(huán)氧樹(shù)脂地板的一切優(yōu)異性能，可快速排泄靜電電荷、防靜電效力持久、表面電阻率達(dá)到10?5-109Ω、地面電阻排泄符合國(guó)際GB6650-86A標(biāo)準(zhǔn)。

適用范圍：生物工程車間、電子、微電子車間、無(wú)塵凈化室、電子元件生產(chǎn)區(qū)、半導(dǎo)體車間SMT、邦定車間等。