特長

● 可測量范圍廣：從大氣壓至5×10-2Pa

● 0~10V的線性壓力輸出，可直接接PLC使用

● 帶有LED故障提示

● 傳感器更換簡便，可由客戶自行更換

● SW1-N1型帶有2點開關信號輸出

● SW1-N2型帶有RS-232C/RS-485通信接口

用途

◆ 可用于半導體、電子元件為首的各種制造裝置的低真空領域的過程管理

◆ 可用于真空爐為首的各種產業(yè)機器的低真空領域的過程管理，可用于光伏、制冷、照明等行業(yè)

愛發(fā)科羅茨真空泵按工作原理和結構特點分類

(1)機械式容積真空泵

靠機械運動使泵腔工作容積周期變化來實現(xiàn)抽氣作用的是機核式容積真空泵。屬于這類泵的有往復式真空泵、旋轉式機械泵(包括旋片式、螺桿式、羅茨式、液環(huán)式等)。這類泵中除機械增壓泵外，一般均可單獨使用。

(2)射流式真空泵

沒有機械運動部件,主要靠通過噴嘴的高速射流來抽真空的是射流式真空泵。屬于這類泵的有水蒸氣噴射泵、空氣噴射泵、水噴射泵以及各種擴散泵等。這類泵結構簡單,工作可靠,壽命長,易于維修,應用比較普遍。

真空系統(tǒng)維修檢漏中不論是采用哪種氣泡檢漏法，應用中需要注意：

1、示漏氣體的種類與壓力會影響檢測靈敏度。

2、充入氣體的壓力還要考慮被檢件的機械強度。

3、被檢件檢測前需要進行充分的清潔，同時要在充好氣后再放入液體中，防止堵塞漏孔。

4、區(qū)分虛漏與真漏，被檢件放入液體中，其表面的吸附氣體可能形成氣泡，需要與漏孔形成的氣泡加以區(qū)分，須將這些氣泡抹掉后再進行觀察。

5、觀察時需要保證光線充足，液體清澈透明(皂膜法時尤其要注意皂液的稀稠度，過稀易流動滴落導致漏檢，過稠易堵塞透明度差或形成氣泡造成誤檢)，觀察背景要暗;同時被檢件要穩(wěn)，距離水面要近，并保證水面平靜。

真空系統(tǒng)維修檢漏過程中發(fā)現(xiàn)漏孔要及時標記，并復查確認進行焊補，如果采用氫氣作為示漏氣體，要特別注意安全。