凈化工程噪聲控制有很高的要求。這里有必要先說明一下無窗潔凈室的照明方式：

　　(1)一般照明它指不考慮特殊的局部需要，為照亮整個被照面積而設(shè)置的照明。

　　(2)局部照明這是指為增加某一指1定地點(diǎn)(如工作點(diǎn))的照度而設(shè)置的照明。但在室內(nèi)照明由一般不單獨(dú)使用局部照明。

　　(3)混合照明這是指工作面上的照度由一般照明和局部照明合成的照明，其中一般照明的照度按《潔凈廠房設(shè)計規(guī)范》應(yīng)占總照度的10%—15%，但不低干150LX。單位被照面積上接受的光通量即是照明單位勒克斯(LX)。國外潔凈室的強(qiáng)度要求極高，例如美國關(guān)于潔凈室的幾個標(biāo)準(zhǔn)的要求是.人工光300lx有較好的效果，當(dāng)工件精細(xì)程度更高時，500x也是允許的。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動而發(fā)生的摻混，而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。對于要紅燈照明的地方，如電子行業(yè)的光刻車間，其照度一般為(25—501x)，用天然光時可允許更高的照度，因而對工作是有利的，所以今后潔凈室的照明既采用人工光也采用天然光可能是有前途的，這也是為了節(jié)能而出現(xiàn)的一種動向。

　　凈化工程層流式：空氣氣流運(yùn)動成一均勻之直線型，空氣由覆蓋率百1分百之過濾器進(jìn)入室內(nèi)，并由高架地板或兩側(cè)隔墻板回風(fēng)。此型式適用于潔凈室等級需定較高的環(huán)境使用，一般其潔凈室等級為Class1~100。

　　其型式可分為二種：

　　(1)水平層流式：水平式空氣自過濾器單方向吹出，由對邊墻壁之回風(fēng)系統(tǒng)回風(fēng)，1塵埃隨風(fēng)向排出室外，一般在下流側(cè)污染較嚴(yán)重。優(yōu)點(diǎn)：構(gòu)造簡單，運(yùn)轉(zhuǎn)后短時間內(nèi)即可變成穩(wěn)定。缺點(diǎn)：建造費(fèi)用比亂流式高，室內(nèi)空間不易擴(kuò)充。

　　(2)垂直層流式：房間天花板完全以ULPA過濾器覆蓋，空氣由上往下吹，可得較高之潔凈度，在制程中或工作人員所產(chǎn)生的塵?？煽焖倥懦鍪彝舛粫绊懫渌ぷ鲄^(qū)域。優(yōu)點(diǎn)：管理容易，運(yùn)轉(zhuǎn)開始短時間內(nèi)即可達(dá)穩(wěn)定狀態(tài)，不易為作業(yè)狀態(tài)或作業(yè)人員所影響。

　　缺點(diǎn)：構(gòu)造費(fèi)用較高，彈性運(yùn)用空間困難，天花板之吊架相當(dāng)占空間，維修更換過濾器較麻煩。

　　凈化工程解決方案：還有一個值得注意的問題是，近些年來我國南方如佛山、廣州以及華東的上海、蘇州等地冬季室外空氣相對濕度較“規(guī)范”給出的室外空調(diào)計算相對濕度要低，例如：冬季室外計算相對濕度佛山無塵室、廣州均為70%，上海和蘇州為75%，而這些年實測的室外相對濕度有時只有30%左右，因此，建起來運(yùn)行的潔凈室的加濕量不足，室內(nèi)相對濕度偏低，達(dá)不到設(shè)計要求。有的工廠為了簡便和省錢，在原空調(diào)器內(nèi)增加濕膜或噴霧進(jìn)行加濕以加大加濕量。但是，事與愿違，不但加不進(jìn)去濕量而且加進(jìn)去的還會很快飽和變?yōu)槟Y(jié)水析出來，而達(dá)不到加濕目的。5μm的粒徑來檢漏，建議可按ISO14644-3的標(biāo)準(zhǔn)來確定K值。因為，濕膜和高壓噴霧屬等焓加濕過程，加濕前的空調(diào)空氣必須加熱到一定溫度后再加濕才能達(dá)到加濕目的。如果不進(jìn)行加熱是不可行的。