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以對防微振及潔凈生產(chǎn)(Produce)環(huán)境有嚴(yán)格要求的慣導(dǎo)實驗(experiment)室為例,貫導(dǎo)實驗(experiment)室的場地應(yīng)避開如沿海地區(qū)、地振活動頻繁地區(qū)、斷層地帶、雷雨及龍卷鳳區(qū)、飛機飛行區(qū)、公路干線、鐵路沿線、大型河流及湖泊區(qū)、城市工業(yè)區(qū)及人口密集區(qū)、常年冰凍區(qū)、礦區(qū)、森林區(qū)??梢愿鶕?jù)這些原則,在較大的地域范圍初選,再在初選分析對比的基礎(chǔ)上進行精選,直至終確定。密封條應(yīng)沿活動間隙周邊連續(xù)鋪設(shè),使門關(guān)閉后構(gòu)成一圈密封齒形密封線。對于集成電路工廠的建設(shè),其微振動測試尤為重要。根據(jù)集成電路工業(yè)潔凈車間的特點,其振動測試根據(jù)工廠建設(shè)的建設(shè)階段,一般分四次進行。
凈化車間(潔凈室)的清潔要求
1)玻璃、墻面、門窗、頂棚應(yīng)清潔,無塵埃,地上應(yīng)平整,無積水、雜物。建筑結(jié)構(gòu)設(shè)備設(shè)備潔凈無缺,設(shè)備、管線排列規(guī)整并包扎光亮,無跑、冒、滴、漏現(xiàn)象,有定時清潔、修理的記載。
2)原輔料、中心產(chǎn)品、制品分類定點堆放,有防塵辦法,有明顯的狀況符號。
3)生產(chǎn)用東西、容器、設(shè)備按規(guī)則放置,按規(guī)程清潔。