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金剛石線切割設(shè)備
金剛石線切割設(shè)備成為研究和發(fā)展的主流趨勢,本文介紹國外硅片切割設(shè)備研究的新進展以及國內(nèi)發(fā)展狀況,并介紹筆者參與研制的金剛石環(huán)形線鋸機的功能、特點和設(shè)計心得體會及金剛石單線和環(huán)線切割機應(yīng)用前景展望。
目前,硬脆性材料,如單晶硅、多晶硅、寶石、玻璃、陶瓷等,具有優(yōu)良、穩(wěn)定的物理和化學性能(如抗腐蝕性、電絕緣性,耐磨損性等),在電子、光學及其它領(lǐng)域得到廣泛應(yīng)用、,特別是單晶硅、多晶硅、陶瓷材料被廣泛用于太陽能光伏產(chǎn)業(yè)、半導體、真空電鍍等高精端產(chǎn)業(yè)中。而隨著微電子和光電子技術(shù)飛速發(fā)展,對半導體和光電晶體的切割加工提出更高要求。伴隨半導體、光伏材料技術(shù)的發(fā)展,需求量不斷增加,切割加工量大幅增長,由于硬脆材料硬度高、脆性大,因此加工難度較大。
線切割設(shè)備
線切割設(shè)備選取的注意事項
1、 張緊裝置是使金剛石線保持適宜的張力,防止張力過大而斷裂,同時避免過小而降低切割效率,甚至脫線。因此張緊機構(gòu)也要具備飛輪一樣的精度,同時要有足夠的穩(wěn)定性及維護性。
2、 進給工作臺的精度直接影響加工精度,因此要根據(jù)用戶的加工要求,配備相應(yīng)精度的工作臺。
3、 控制系統(tǒng)要根據(jù)不同的切割材料、不同的生產(chǎn)量來制訂相應(yīng)控制系統(tǒng),達到適宜的自動化程度;同時設(shè)備具有良好人機操作界面、操作簡便、維護方便、安全性可靠。
脆性材料切割?
金剛石線切割機的加工優(yōu)勢便
金剛石線切割機同時適用于導電材料和不導電材料(硬度要比金剛石線?。┑那懈睢`嵵菰毓ぞ呒夹g(shù)有限公司致力于環(huán)形金剛石線切割工具和設(shè)備的研發(fā),切割速度極快,切面質(zhì)量高。因此,金剛石線切割機被廣泛用于各種金屬和非金屬及復(fù)合材料的切割,如陶瓷、玻璃、巖石、寶石、玉石、隕石、單晶硅、碳化硅、多晶硅、耐火磚、環(huán)氧板、鐵氧體、PCB以及建筑材料、生物材料及仿生復(fù)合材料等,特別適用于各種高硬度、高價值、易破碎的脆性材料切割。
?線切割設(shè)備
線切割設(shè)備的速度調(diào)整:
切割速度的大小不僅與材料的性質(zhì)有關(guān),與切割面的大小也有關(guān)系,同種材料切割時,被切面較大的切割速度設(shè)置就要相對較小一些。電火花線切割加工要求被加工材料必須導電,其工作原理是在絕緣油介質(zhì)中,靠金屬切割盤與試樣之間產(chǎn)生的電弧起切割作用。無論切割何種材料切割速度太快都不利于切割出光滑平整的試樣面,速度太快切割后的樣品表面會有明顯的切割線痕跡,因此當要求切斷試樣同時還要有很好的面型(平面度、平行度、表面粗糙度)時一般選用較慢的切割速度。