潔凈室是指

對空氣潔凈度、溫度、濕度、壓力、噪聲等參數(shù)根據(jù)需要都進行控制的密閉性較好的空間。潔凈室的發(fā)展與現(xiàn)代工業(yè)、技術(shù)密切聯(lián)系在一起。由于精密機械工業(yè)（如陀螺儀、微型軸承等加工）、半導(dǎo)體工業(yè)（如大規(guī)模集成電路生產(chǎn)）等對環(huán)境的要求，促進了潔凈室技術(shù)的發(fā)展。國內(nèi)曾統(tǒng)計過，在無潔凈級別的要求的環(huán)境下生產(chǎn)MOS電路管芯的合格率僅10%~15%，64為儲存器僅2%。目前在精密機械、半導(dǎo)體、宇航、原子能等工業(yè)中應(yīng)用潔凈室已相當普遍。

不同的凈化等級，主要是依靠單位時間內(nèi)所送風量的不同來實現(xiàn)。根據(jù)房間不同的工作條件，還必須考慮材料的化學(xué)性能是否穩(wěn)定。無塵車間施工要求：裝有過濾器的房間，不能有粉塵的作業(yè)。各個相接處的縫隙須密封。施工現(xiàn)場應(yīng)保證良好的通風和照明。1000-30萬級凈化室和100級以上的凈化室不同，室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度成不平行流動，伴有回流或渦流。

無塵車間動線規(guī)劃要點：要檢討分析人車路徑、配管系統(tǒng)、排氣管道、原料搬運和作業(yè)的流程等，盡量縮短動線，并避免交叉，以防止交叉污染。無塵車間等級定義的模式如下：Class?X?(at?Y?μm?)?其中X是無塵室的等級，例如100或10000等等，Y是粒徑如0.2μm?,?0.5μm等，可復(fù)選。先對房間的工作性質(zhì)以及其中的氣流條件進行認真的考慮，發(fā)塵量大的車間不宜采用地面送風形式，潔凈度要求高的車間應(yīng)盡可能遠離其它車間。

1000-30萬級凈化室和100級以上的凈化室不同，室內(nèi)的氣流是以不均勻的速度成不平行流動，伴有回流或渦流。無塵車間分為幾個等級，分別為1級≥百級級≥千級級≥萬級≥十萬級≥百萬，越排在前面的，級別越高，1級是級別排首位的。無塵車間目前在生物制藥、醫(yī)院衛(wèi)生、食品日化、電子光學(xué)、能源、精密器械等行業(yè)運用已經(jīng)相當?shù)钠毡榍页墒臁?/p>