真空泵的使用范圍

   由于各種真空泵所具有的工作壓強(qiáng)范圍及起動(dòng)壓強(qiáng)均有所不同，因此在選用真空泵時(shí)必須滿足這些要求。表3-1給出了各種常用真空泵的工作壓強(qiáng)范圍及泵的起動(dòng)壓強(qiáng)值，以供參用。

   表3-1  常用真空泵的工作壓強(qiáng)范圍及起動(dòng)壓強(qiáng)

真空泵種類(lèi)          工作壓強(qiáng)范圍（Pa）            起動(dòng)壓強(qiáng)（Pa）  

活塞式真空泵      1×100000～1.3×100              1×100000  

旋片式真空泵      1×100000—6.7×0.1              1×100000  

水環(huán)式真空泵      1×100000—2.7×1000             1×100000  

羅茨真空泵        1.3×1000—1.3                   1.3×1000  

渦輪分子泵        1.3—1.3×0.00005                1.3  

水蒸氣噴射泵      1×100000—1.3×0.1              1×100000  

油擴(kuò)散泵          1.3×0.01—1.3×0.0000001        1.3×10  

油蒸氣噴射泵      1.3×10—1.3×0.01               <1.3×100000  

分子篩吸附泵      1×100000—1.3×0.1              1×100000  

濺射離子泵        1.3×0.001—1.3×0.000000001     6.7×0.1  

鈦升華泵          1.3×0.01—1.3×0.000000001      1.3×0.01  

鋯鋁吸氣劑泵      1.3×10—1.3×0.00000000001      1.3×10  

低溫泵            1.3—1.3×0.00000000001          1.3—1.3×0.1

真空泵的發(fā)展

  真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。其廣泛用于冶金、化工、食品、電子鍍膜等行業(yè)。隨著真空應(yīng)用的發(fā)展，真空泵的種類(lèi)已發(fā)展了很多種，其抽速?gòu)拿棵肓泓c(diǎn)幾升到每秒幾十萬(wàn)、數(shù)百萬(wàn)升。真空泵的發(fā)展真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。隨著真空技術(shù)在生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域中對(duì)其應(yīng)用壓強(qiáng)范圍的要求越來(lái)越寬，大多需要由幾種真空泵組成真空抽氣系統(tǒng)共同抽氣后才能滿足生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程的要求，由于真空應(yīng)用部門(mén)所涉及的工作壓力的范圍很寬，因此任何一種類(lèi)型的真空泵都不可能完全適用于所有的工作壓力范圍，只能根據(jù)不同的工作壓力范圍和不同的工作要求，使用不同類(lèi)型的真空泵。為了使用方便和各種真空工藝過(guò)程的需要，有時(shí)將各種真空泵按其性能要求組合起來(lái)，以機(jī)組型式應(yīng)用。

常用真空泵包括干式螺桿真空泵、水環(huán)泵、往復(fù)泵、滑閥泵、旋片泵、羅茨泵和擴(kuò)散泵等，這些泵是我國(guó)國(guó)民經(jīng)濟(jì)各行業(yè)應(yīng)用真空工藝過(guò)程中必不可少的主力泵種。近年來(lái)， 伴隨著我國(guó)經(jīng)濟(jì)持續(xù)高速發(fā)展，真空泵相關(guān)下游應(yīng)用行業(yè)保持快速增長(zhǎng)勢(shì)頭，同時(shí)在真空泵應(yīng)用領(lǐng)域不斷拓展等因素的共同拉動(dòng)下，我國(guó)真空泵行業(yè)實(shí)現(xiàn)了持續(xù)穩(wěn)定地快速的發(fā)展。真空單位的換算真空單位一般可以用相對(duì)真空度真空度來(lái)標(biāo)識(shí)，下面我們來(lái)講一下相對(duì)真空度和真空度的換算。