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為了使陶瓷能表現(xiàn)出宏觀的壓電特性,就必須在壓電陶瓷燒成并于端面被復(fù)電極之后,將其置于強(qiáng)直流電場(chǎng)下進(jìn)行極化處理,以使原來(lái)混亂取向的各自發(fā)極化矢量沿電場(chǎng)方向擇優(yōu)取向.壓電疊堆( Multilayer Piezoelectric Actuators) 是利用單片壓電陶瓷電場(chǎng)作用下的直接伸長(zhǎng)變形,再通過(guò)多層疊加使總的變形達(dá)到一個(gè)較大的數(shù)值。利用自行設(shè)計(jì)的壓電式電氣比例閥,能較好地解決小流量下執(zhí)行機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)的控制問(wèn)題,實(shí)現(xiàn)氣缸的精密定位。
壓電特性的物理機(jī)制:經(jīng)過(guò)極化了的壓電陶瓷片的兩端會(huì)出現(xiàn)束縛電荷, 所以在電極表面上吸附了一層來(lái)自外界的自由電荷。壓電陶瓷與典型的不包含鐵電成分的壓英晶體的主要區(qū)別是: 構(gòu)成其主要成分的晶相都是具有鐵電性的晶粒. 電氣比例閥的主要作用是用于連接系統(tǒng)的電氣一機(jī)械部分,將輸人的小功率電信號(hào)通過(guò)放大轉(zhuǎn)變?yōu)榭刂崎y芯運(yùn)動(dòng)的電壓或電流信號(hào)。
控制系統(tǒng)是利用壓縮氣體作為動(dòng)力源,在數(shù)據(jù)采集卡和自行設(shè)計(jì)的壓電驅(qū)動(dòng)式電氣比例閥的閉環(huán)控制下,通過(guò)光柵尺和力傳感器的反饋,實(shí)現(xiàn)氣壓缸的快速驅(qū)動(dòng)與準(zhǔn)確定位,精度可達(dá)到 0. 001 mm。由于陶瓷是晶粒隨機(jī)取向的多晶聚集體,因此其中各個(gè)鐵電晶粒的自發(fā)極化矢量也是混亂取向的.常規(guī)的電氣比例閥無(wú)法實(shí)現(xiàn)精密控制,利用壓電疊堆作為動(dòng)力源,研究制作了一種新的電器比例閥,即壓電式電氣比例閥。