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近年,在這些規(guī)則規(guī)模中堅持處理空氣進程,使咱們必需承擔(dān)資金和運營本錢。可是為什么值得花費這么多錢用在無塵車間、潔凈室中操控相對濕度呢?道理很簡單,因為相對濕度有一系列可能使?jié)崈羰铱傮w體現(xiàn)下降的因素,其間包含:1、細菌成長;2、工作人員感到室溫舒適的規(guī)模;3、出現(xiàn)靜電荷;4、金屬腐蝕;5、水汽冷凝;6、光刻的退貨;7、吸水性。
無塵室內(nèi)該如何防止微粒子污染呢?應(yīng)遵守下列基本原則:排除/除去,在無法避免大量微粒子發(fā)生的機臺中,為了不讓無塵室內(nèi)產(chǎn)生微粒子,因此直接做對外排氣的動作,即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下:由于導(dǎo)入同量的外氣是必要的,但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是肯定理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時,不僅僅是向無塵室外排氣,而應(yīng)采用將除去粒子后的空氣再回流到無塵室內(nèi)之對策。
所謂潔凈度是指潔凈目標——空氣的清洗程度。潔凈度通常用必定體積或必定分量空氣中所含污染物質(zhì)的巨細、數(shù)量或分量來表明。例如,每立方米空氣中,含有大于或等于0.5um的懸浮微粒數(shù)有X個,即潔凈度為》0.5um顆粒為X個/立方。又如:每立方米空氣中塵粒的質(zhì)量為Ymg,其潔凈度為mg/立方表明。因為空氣凈化的意圖與目標不一樣,凈化的內(nèi)容、辦法和衡量規(guī)范也各不相同。從空氣凈化的目標來看,有的是要處理大氣污染的疑問,有的是以無塵車間為目標。大氣污染的凈化主要是各種氣體廢棄物的處理疑問,是以高濃度污染空氣為目標。而各種無塵車間面對的是室內(nèi)送風(fēng)的凈化疑問,是以超低污染濃度空氣為目標的。所謂超低污染濃度的空氣,也即是平時以為對比潔凈的空氣。但是對于電子、宇航、高精密機械制造、、某些yi療部分及制藥等一些對出產(chǎn)環(huán)境請求嚴厲的技術(shù)進程或房間,這種相對對比潔凈的空氣,仍然不符合請求,還需求進一步凈化。