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無塵潔凈室中的三塵。無塵潔凈室有三大原則:禁塵、帶塵、產塵。風淋室作為進入潔凈室的緩沖通道之一,是控制帶塵的很 好地凈化設備之一,它可以大限度地減少員工進出無塵潔凈室所帶來的污染問題。風淋室的兩道門電子互鎖,可以兼起氣閘室的作用,阻止外界污染和未被凈化的空氣進入無塵潔凈區(qū)域,達到生產車間所要求的生產潔凈環(huán)境。
無塵潔凈室主要之作用在于控制產品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產品能在一個良好之環(huán)境空間中生產、制造,此空間我們稱之為無塵潔凈室。按照國際慣例,無塵凈化級別主要是根據每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標準的粒子數(shù)量來規(guī)定。也就是說所謂無塵并非100%沒有一點灰塵,而是控制在一個非常微量的單位上。當然這個標準中符合灰塵標準的顆粒相對于我們常見的灰塵已經是小的微乎其微,但是對于光學構造而言,哪怕是一點點的灰塵都會產生非常大的影響,所以在光學構造產品的生產上,無塵是必然的要求。
潔凈車間的棚頂和墻板(涵蓋夾芯資料)必須是不焚燒體,且不行以運用有機復合資料。棚頂?shù)哪突饦O限不行少于0.4小時,分散走道棚頂?shù)哪突饦O限不行少于1小時。在一個防火區(qū)內的綜合性工業(yè)廠房,其潔凈出產區(qū)域與一般出產區(qū)域兩者之間應規(guī)劃為非焚燒體隔墻密封到頂。隔墻以及相關聯(lián)的頂板其耐火極限不行少于1小時,墻面上的門窗耐火極限不行少于0.6小時。穿過隔墻或頂板的電纜電線其周圍縫隙應運用非焚燒資料堵塞填充。