Parylene薄膜具有厚度均勻、致密無(wú)、透明無(wú)應(yīng)力、優(yōu)異的電絕緣性和防護(hù)性等特點(diǎn)，可應(yīng)用在光電材料、磁性材料、服裝及保護(hù)等領(lǐng)域，因其生物兼容性和生物穩(wěn)定性，還可以應(yīng)用在領(lǐng)域。然而，需要注意的是，Parylene涂覆對(duì)于材料表面的要求比較高，要求附著力好，無(wú)雜質(zhì)，因此在進(jìn)行涂覆前，必須對(duì)物件的表面進(jìn)行一定預(yù)處理，以增加涂覆物件的附著力。

       派瑞林納米涂層與通常所使用的三防漆有很大的區(qū)別，相比之下，三防漆更不易讓PCB以及元器件散熱，導(dǎo)電性能不佳，三防漆會(huì)釋放有毒有害物質(zhì)，而PCB納米潮涂層更環(huán)保，符合ROHS,REACH,MSDS等歐盟認(rèn)證，其所形成的涂層肉眼不可視，散熱性能很好，導(dǎo)電性能也不受影響。

       與化學(xué)吸附自限制過(guò)程不同，順次反應(yīng)自限制原子層沉積過(guò)程是通過(guò)活性前驅(qū)體物質(zhì)與活性基體材料表面化學(xué)反應(yīng)來(lái)驅(qū)動(dòng)的。這樣得到的沉積薄膜是由于前驅(qū)體與基體材料間的化學(xué)反應(yīng)形成的。圖a和b分別給出了這兩種自限制反應(yīng)過(guò)程的示意圖。由圖可知，化學(xué)吸附自限制過(guò)程的是由吸附前驅(qū)體1（ML2）與前驅(qū)體2（AN2）直接反應(yīng)生成MA原子層（薄膜構(gòu)成），主要反應(yīng)可以以方程式⑴表示。對(duì)于順次反應(yīng)自限制過(guò)程首先是活化劑（AN）活化基體材料表面；然后注入的前驅(qū)體1（ML2）在活化的基體材料表面反應(yīng)形成吸附中間體（AML），這可以用反應(yīng)方程式⑵表示。反應(yīng)⑵隨著活化劑AN的反應(yīng)消耗而自動(dòng)終止，具有自限制性。當(dāng)沉積反應(yīng)前驅(qū)體2（AN2）注入反應(yīng)器后，就會(huì)與上述的吸附中間體反應(yīng)并生成沉積原子層。

       派瑞林涂層薄膜的止回閥。微閥具有扭曲型的派瑞林涂層膜, 當(dāng)有流體順流時(shí), 派瑞林涂層薄膜抬起, 允許流體通過(guò); 當(dāng)有流體逆時(shí),派瑞林涂層薄膜封住了通道阻止其流動(dòng)。該結(jié)構(gòu)的微閥順流沖破壓力小于0. 5 kPa, 逆流的制止壓力達(dá)600 kPa以上, 同時(shí)具有較低的反向泄漏, 性能非常好。由于派瑞林涂層較小的楊氏模量, 產(chǎn)生了較大的變形, 基本可以忽略由薄膜引起的流體阻抗。單通道常閉微止回閥, 整個(gè)微閥和微通道都是由派瑞林涂層 C制成的, 其結(jié)構(gòu)為在圓形閥座上的一個(gè)圓形的密封板。密封板是固定在子腔薄膜的頂部中心, 由于大氣壓強(qiáng)使子腔壓縮到底部, 從而獲得微閥的閉合模式。這種新型的子腔結(jié)構(gòu)是通過(guò)沒(méi)有層結(jié)構(gòu)的釋放和在真空條件下派瑞林涂層薄膜的氣相沉積來(lái)實(shí)現(xiàn)的。通過(guò)減小密封板和閥座的重疊面積和濺射金屬金來(lái)減小靜摩擦力, 從而減小順流沖破壓力。此種結(jié)構(gòu)的微閥的順流沖破壓力為20～40 kPa, 在逆流壓力為270 kPa也不會(huì)出現(xiàn)可見(jiàn)的泄露現(xiàn)象。

        Parylene涂層也用于硅橡膠鍵盤。Parylene涂層也用于硅橡膠鍵盤，防止印刷圖案，抵抗表面磨損，解決粘性問(wèn)題，同時(shí)保護(hù)鍵盤免受污垢，灰塵和油污。所施加的膜具有高介電強(qiáng)度，并且不損害下面的橡膠組分的電絕緣性能。Parylene提供無(wú)細(xì)孔，防止潮濕，腐蝕性體液，常見(jiàn)氣體，抑菌和溫度。增加涂層厚度可進(jìn)一步提高化學(xué)耐受性和耐溶劑性，而不會(huì)增加重量或?qū)嵸|(zhì)上影響基板的彈性。此外，聚對(duì)二薄膜可以除去硅橡膠的粘性，使硅橡膠表面更潤(rùn)滑，改變硅橡膠按鍵的手感。由于厚度薄，聚對(duì)二薄膜是透明或接近透明的，對(duì)按鍵的外觀和尺寸沒(méi)有影響。