氣體流量積算儀

1、 輸入信號：標準線性信號、P t 1 0 0 熱電阻、頻率信號。

2、可開方及小信號切除。8 個補償點及參數(shù)。

3、 4 位瞬時流量值顯示和 6 位或 9 位累計流量值顯示。

4、頻率輸入時可對超低頻進行流量積算與瞬時流量顯示。

5、可清除流量積算值、累計流量值清零。

6、可編程定量積算流量、可批量、定量控制。

7、變送輸出：0～10mA 或 4～20mA。

8、可對瞬時、累計流量控制輸出。

9、可將兩個流量信號按配比合成后顯示瞬時流量及進行流量累計，模擬輸出可同時選擇 兩路。

10、雙流量積算控制、雙模擬量變送。可批量、定量控制。

11、儀表斷電后，參數(shù)及累計流量值可*保存。

12、可提供多主機，單主機，無主機方式的 RS485 異步串行通訊方式。通訊數(shù)據(jù)校驗遵照 CRC-16 美國數(shù)據(jù)通訊標準，高可靠性循環(huán)，條碼校驗。

氣體質量流量控制器

氣體質量流量控制器（Mass Flow Controller縮寫為MFC）用于對于氣體的質量流量進行精密測量和控制；氣體質量流量計（Mass Flow Meter縮寫為MFM）用于對于氣體的質量流量進行精密測量。擴散，氧化，分子束外延，CVD，等離子刻蝕，濺射，離子注入，以及真空鍍膜設備，光纖熔煉，微反應裝置，混氣配氣系統(tǒng)，毛細管測量氣象色譜儀，光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工，冶金，制藥等。特點：精度高，重復性好。

怎么理解質量流量計/質量流量控制器的流量單位？

氣體質量流量單位一般以sccm（Standard Cubic Centimeter per Minute,每分鐘標準毫升）和slm（Standard Liter per Minute,每分鐘標準升）來表示。這意味著，這種儀表在不同的使用條件下，指示的流量均是標準狀態(tài)下的流量。標準狀態(tài)規(guī)定為: 氣壓—101325Pa (760mm Hg); 溫度—0℃ (273.15K)。這是這種儀表和其它流量計的重要區(qū)別，也是sccm﹑slm不同于mL/min﹑L/min 之處。

對多數(shù)用戶而言，體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用，但也有用戶需要知道單位時間內流過介質的質量（如g/min）,這個要求是很容易實現(xiàn)的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù), 可以方便地查到，因而簡單地做一個乘法（以密度乘以若干slm）即可實現(xiàn)。所以說,在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質量流量。

需要注意的是, 被全世界質量流量控制器廠商共同采用的sccm/slm這種質量流量單位, 不符合國內計量標準的常用的質量流量的國際單位（Kg/min）, 但是它符合國際半導體協(xié)會制定的SEMI國際標準。