精密和超精密加工技術(shù)簡介

就先進(jìn)制造技術(shù)的技術(shù)實質(zhì)性而論，主要有精密和超精密加工技術(shù)與制造自動化兩大領(lǐng)域。前者包括了精密加工、超精密加工、微細(xì)加工，以及廣為流傳的納米加工，它追求加工上的精度和表面質(zhì)量的極限，可統(tǒng)稱為精密工程；為航空國防、工業(yè)制造、農(nóng)業(yè)環(huán)保、能源石化、科研儀器等行業(yè)提供優(yōu)質(zhì)的監(jiān)測系統(tǒng)及行業(yè)解決方案。后者包括了設(shè)計、制造和管理的自動化，它不僅是快速響應(yīng)市場需求、提高生產(chǎn)率、改善勞動條件的重要手段，而且是提高產(chǎn)品質(zhì)量的有效方式。兩者密切聯(lián)系，許多精密和超精密加工要靠自動化技術(shù)才能達(dá)到預(yù)期目標(biāo)，而不少制造自動化則有賴于精密加工才能達(dá)到設(shè)計要求。

制造業(yè)是國民經(jīng)濟(jì)的支柱產(chǎn)業(yè)，隨著制造業(yè)的快速發(fā)展，尤其是先進(jìn)制造技術(shù)的出現(xiàn)，新工藝、新加工方法不斷涌現(xiàn)。精密加工和超精密加工是先進(jìn)制造技術(shù)的重要支柱，也是提高制造技術(shù)水平的關(guān)鍵。當(dāng)前，在制造自動化領(lǐng)域，進(jìn)行了大量有關(guān)計算機輔助技術(shù)軟件CAD、CAPP、CAM的開發(fā)，計算機集成制造技術(shù)CIM、生產(chǎn)模式（如精良生產(chǎn)、敏捷制造、虛擬制造等），以及清潔生產(chǎn)和綠色制造等研究，代表了當(dāng)前制造技術(shù)的一個重要方面。但這絕非高新制造技術(shù)的全部，作為制造技術(shù)的主戰(zhàn)場，仍然要靠精密加工和超精密加工技術(shù)。在眾多的測量儀器當(dāng)中，非接觸式測量儀器由于其自身的優(yōu)點，成為微位移測量領(lǐng)域的主流研究方向之一。