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什么是高純氣體?
改革開(kāi)放以來(lái),隨著我國(guó)高新技術(shù)的快速發(fā)展,計(jì)算機(jī)工業(yè)對(duì)大規(guī)模集成電路與液晶顯示器的需求量增加;隨著新型能源的發(fā)展,我國(guó)大力開(kāi)拓了多晶硅太陽(yáng)能電池和薄膜太陽(yáng)能電池的生產(chǎn);此外,新型電光源、光電半導(dǎo)體器件、光纖通訊器件也過(guò)的迅猛發(fā)展,上述高新產(chǎn)品的生產(chǎn)中,都需要大量高純氣體,以制造出性能可靠的各種器件。什么是高純氣體?半導(dǎo)體集成電路所需要的高純氣體主要分為兩大類(lèi):1、普通氣體:也叫大宗氣體,主要有:H2、N2、O2、Ar、He等。但在地方政府的指令下,華北各地的工業(yè)制造工廠的停、減產(chǎn)范圍有進(jìn)一步擴(kuò)大,氣體消耗應(yīng)用出現(xiàn)了一定程度的下降。2、特種氣體:主要指各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、蝕刻用氣體等。標(biāo)準(zhǔn)氣體的使用注意事項(xiàng)
1、可燃?xì)怏w的燃爆限,從安全的角度出發(fā),在制備標(biāo)準(zhǔn)氣體之前,必須對(duì)標(biāo)準(zhǔn)氣體混合的可行性進(jìn)行研究。高純氣體根據(jù)分子結(jié)構(gòu)的不同可以分為有機(jī)高純氣體,和無(wú)機(jī)高純氣體。特別要考慮各組分氣體的燃爆極限,在制備由可燃?xì)怏w和氫氣(或氧氣)組成的標(biāo)準(zhǔn)氣體時(shí),要注意組分氣體含量是否超過(guò)燃爆限的問(wèn)題。否則在制備過(guò)程中,可能發(fā)生燃爆事故。燃爆限是可燃性氣體的重要技術(shù)數(shù)據(jù)。在配制含有可燃?xì)怏w組分的標(biāo)準(zhǔn)氣體前,必須了解該組分的燃爆限,以確保安全。
2、氣體的飽和蒸氣壓及其他性能,要了解各組分的飽和蒸氣壓及其他性能,考虎是否會(huì)產(chǎn)生冷凝作用、標(biāo)準(zhǔn)氣體中組分與鋼瓶同僻壁材質(zhì)之間的作用、各組分間的反應(yīng)等。