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吹淋室不能作為通常收支通道
吹淋室不能作為通常收支通道,由于這種門常為兩扇聯(lián)鎖或主動,一旦出現(xiàn)毛病,十分影響分散,所以通常均在吹淋室設(shè)旁通門,作業(yè)人員多于5人時有必要設(shè)此門。平常作業(yè)人員出凈化車間時不應(yīng)走吹淋室而應(yīng)走旁通門。 凈化區(qū)內(nèi)各凈化車間的門,思考到保持室內(nèi)壓力情況的需求,其開設(shè)方向要朝向壓力大的房間,由于要靠壓力把門壓緊,這顯然和安全分散的需求相反。為了思考平常凈化和緊迫分散時的兩方面需求,規(guī)則凈化區(qū)和非凈化區(qū)之間的門、凈化區(qū)與室外的門作為安全分散門對待,其敞開方向一概朝向分散方向,當(dāng)然,單設(shè)的安全門也是如此。
凈化工程建設(shè)中需考慮從以下問題
凈化工程建設(shè)中需考慮從以下問題:1. 包裝車間潔凈室工程所需要的凈化材料;2. 廠房潔凈室及包裝車間潔凈室工程的設(shè)計、安裝、調(diào)試、維護等綜合服務(wù);3. 包裝車間潔凈室工程空調(diào)凈化部分 溫度和相對濕度無菌在無特殊規(guī)定時,通常要求溫度在法規(guī)標(biāo)準(zhǔn)檢測Standard and Testing18~28 C,濕度在 45%~65%,企業(yè)一般都可以控制在要求內(nèi)。如在動態(tài)監(jiān)測中發(fā)現(xiàn)達不到要求,可能是室內(nèi)有產(chǎn)熱大的儀器設(shè)備。
潔凈技術(shù)方向發(fā)展空氣分子污染
潔凈技術(shù)方向發(fā)展 空氣分子污染(Airborne Molecular Contaminants,AMC)作為IC工廠所關(guān)心的問題于20年前由日本人提出,近年來,世界IC技術(shù)發(fā)展迅速,IC芯片日益微型化。AMC對當(dāng)前的IC生產(chǎn)其潛在的污染比粒子污染要廣泛多,粒子污染控制只需要確定粒徑及個數(shù),但對AMC控制而言,除了受芯片線寬的縮小而變化外,并受工藝、工藝設(shè)備、工藝材料及傳送系統(tǒng)等的影響。更有甚者用于某一工序的各種工藝材料(化學(xué)品、特種氣體等)在很多情況下其微量的分子殘余對下一工序往往可能就是污染物。因此,IC生產(chǎn)過程中的某些加工工序及工序間的材料傳送和存放環(huán)境中,AMC已成為嚴重影響成品率的重要問題,AMC分子控制技術(shù)成為潔凈工程設(shè)計與施工建設(shè)的主流趨勢。目前,國內(nèi)的潔凈工程企業(yè)中已經(jīng)開始從事此方向的研究,在該領(lǐng)域比較的企業(yè)有亞翔集成,在分子凈化技術(shù)方面該公司已經(jīng)走在了同行業(yè)的前列,而中國電子工程設(shè)計院則在防微震方面。
凈化室根據(jù)用途決定凈化等級
凈化室根據(jù)用途決定凈化等級,根據(jù)需要調(diào)節(jié)凈化室溫度、濕度、換氣次數(shù)。溫度可由不銹鋼管道調(diào)節(jié),也可用凈化室空調(diào)調(diào)節(jié)。濕度根據(jù)具體工藝要求,采用設(shè)備調(diào)節(jié)。根據(jù)不同的凈化要求,我們采用的施工材料、施工工藝都有所不同。千級凈化室,必須采用不銹鋼鋼板做保溫隔離。鋼板接縫處不能有輕微的變形。千級凈化室的隔離鋼板,目前需到北京、上海等地采購。凈化管道可采用不銹鋼管道,鍍鋅管道。管道外部要做保溫處理。管道施工前,管道內(nèi)部潔凈處理十分重要,不能等到全部管道安裝完畢在做潔凈處理。這是施工關(guān)鍵所在。很多工程無法驗收合格于此相關(guān),應(yīng)特別注意。管道的設(shè)計與凈化室的大小相關(guān),與送風(fēng)量大小相關(guān),與凈化要求相關(guān)。凈化空調(diào)的大小,風(fēng)量大小,在具體的施工過程中根據(jù)需要調(diào)節(jié)。由于環(huán)境不同,地理位置不同,施工工藝也不同。要根據(jù)實際要求設(shè)計。例如:同樣是900平方米凈化廠房,里面有50個工人和100個工人就需調(diào)整通風(fēng)管道設(shè)計。設(shè)計時要綜合考慮。根據(jù)經(jīng)驗,具體環(huán)境,調(diào)整設(shè)計。