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芯片廠車間裝修設(shè)計(jì)常用指南 華一凈化工程

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發(fā)布時(shí)間:2021-08-05 13:49  






半導(dǎo)體制造及封裝測試的各個(gè)工藝步驟

半導(dǎo)體制造及封裝測試的各個(gè)工藝步驟都有大量的廢水產(chǎn)生,主要以酸堿廢水、含氟廢水、有機(jī)廢水為主。⑴酸堿廢水:對于酸堿廢水處理前的pH值一般在3-11范圍內(nèi),時(shí)間間歇性強(qiáng)。在排放水體或進(jìn)行生物處理或化學(xué)處理之前,必須進(jìn)行中和,使廢水pH值達(dá)到6.5~8.5。但對于工業(yè)廢水中酸堿物質(zhì)濃度高達(dá)3%~5%的廢水,應(yīng)首先考慮其回收。⑵含氟廢水:含氟廢水的治理技術(shù)主要為化學(xué)沉淀法,即投加化學(xué)藥品形成氟化物沉淀或氟化物被吸附于所形成的沉淀物中而共沉淀,然后分離固體沉淀物即可除去氟化物。


電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級

電子制造廠萬級潔凈室內(nèi)的噪聲級(空態(tài)):不應(yīng)大于65dB(A);電子制造廠潔凈室垂直流潔凈室滿布比不應(yīng)小于60%,水平單向流潔凈室不應(yīng)小于40%,否則就是局部單向流了。電子制造廠潔凈室與室外的靜壓差不應(yīng)小于10Pa,不同空氣潔凈度的潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之間的靜壓差不應(yīng)小于5Pa;電子制造行業(yè)萬級潔凈室內(nèi)的新鮮空氣量應(yīng)取下列二項(xiàng)中的值:補(bǔ)償室內(nèi)排風(fēng)量和保持室內(nèi)正壓值所需的新鮮空氣量之和。保證供給潔凈室內(nèi)每人每小時(shí)的新鮮空氣量不小于40m3。


電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器

電子制造行業(yè)潔凈室凈化空調(diào)系統(tǒng)加熱器,應(yīng)設(shè)置新風(fēng),超溫?cái)嚯姳Wo(hù),若采用點(diǎn)加濕時(shí)應(yīng)設(shè)置無水保護(hù),寒冷地區(qū),新風(fēng)系統(tǒng)應(yīng)設(shè)置防凍保護(hù)措施。無塵室的送風(fēng)量,應(yīng)取下面三項(xiàng)值:保證電子制造廠無塵室空氣潔凈度等級的送風(fēng)量;根據(jù)熱,濕負(fù)荷計(jì)算確定電子廠潔凈室的送風(fēng)量;向電子制造廠潔凈室給的新鮮空氣量。對于電子工廠裝修的廠房布局而言,其注意事項(xiàng)體現(xiàn)在3方面,即:廠房平面設(shè)計(jì)、廠房立面布置、布置設(shè)計(jì)要求。


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