流量控制器在高壓條件下如何使用?

質量流量控制器的工作壓差范圍通常比較小, 要在高壓條件下正常使用需要特別注意三點: 一, 是要選擇耐壓符合要求的MFC; 二, 是要挑選工作壓差范圍大的產品型號;  三, 要在MFC氣路前面加減壓閥, 穩(wěn)定入口氣壓, 在MFC下游加背壓閥, 穩(wěn)定反應室和MFC出口的氣壓, 適當調節(jié)減壓閥和背壓閥, 要保證MFC的工作壓差不會超過規(guī)定的范圍。2、熱探頭向測量桿構架的導熱02隨著構架材料導熱系數(shù)的不同，02差別很大。只要做到以上三點,  MFC就能夠在高壓條件下穩(wěn)定工作。

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流量控制器的穩(wěn)定控制時間

由于到達設定值后控制器可能會發(fā)生超調，所以通常制造商用到達設定值且穩(wěn)定后所需要的時間作為設備響應速度，并賦予波形振蕩幅度一個容許范圍。舉個例子， 容許范圍2%表示流量波動在設定值的2%以內即為穩(wěn)定。一般質量流量控制器的精度在0.5%~2%之間，但一些制造商卻將穩(wěn)定容許范圍擴大到10%。(4)適用范圍寬有很寬的工作壓力范圍，我們的產品可以從真空直到10MPa。在ALICAT?，我們認為如果用戶要將流量控制在期望的設定值，那么其穩(wěn)定容許范圍也必須落在設備精度范圍內。如下面示波器截屏圖所示，控制器在27.6毫秒時到達了與設備精度(滿量程的1%)等同的穩(wěn)定容許范圍。

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流量控制器的性能參數(shù)

流量控制器的特點是：當自力式流量控制閥進口、出口壓差變化時，通過自力式流量控制閥的流量恒定不變。

流量控制器的性能參數(shù)有：流量控制精度、工作壓差范圍、啟動壓差。

流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的誤差，行業(yè)標準中的誤差要求小于等于8％，A類產品的誤差小于等于5％。流量控制精度的高低取決于流量控制器的設計、加工和材質。

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