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流量控制器基本原理
通過測量氣體流經(jīng)流量器內(nèi)加熱元件時的冷卻效應(yīng)來計量氣體流量的。氣體通過的測量段內(nèi)有兩個熱阻元件,其中一個作為溫度檢測,另一個作為加熱器。溫度傳感元件用于檢測氣體溫度,加熱器則通過改變電流來保持其溫度與被測氣體的溫度之間有一個恒定的溫度差。②儀表使用過程中在使用條件下有必要進行準確的零點標定,質(zhì)量流量控制器屬于在線使用的高度測量儀表,零點的漂移對測量結(jié)果有影響,長期使用時一定要定期進行標定。當氣體流速增加,冷卻效應(yīng)越大,使須保持熱電阻間恒溫的電流也越大。此熱傳遞正比于氣體質(zhì)量流量,即供給電流與氣體質(zhì)量流量有一對應(yīng)的函數(shù)關(guān)系來反映氣體的流量。
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流量控制器的工作壓差范圍是個什么概念?
質(zhì)量流量控制器(MFC)中設(shè)置有一個氣體流量調(diào)節(jié)閥門, 閥門能使通過控制器的流量從零調(diào)節(jié)到測量的滿量程, 在工作的過程當中, 控制器的入口和出口之間會產(chǎn)生一個氣壓降, 即壓差。MFC的工作壓差范圍通常為0.1~0.3MPa, 若壓差低于值(0.1 MPa), 有可能控制達不到滿量程值; 若高于值(0.3MPa), 有可能關(guān)閉時流量不能小于2%F.S。脈動引起的測量誤差通常使儀表輸出偏高,其程度取決于脈動幅值和頻率。用戶使用MFC時, 無論用戶工作的反應(yīng)室是真空還是高壓, 應(yīng)做到使MFC進出氣兩端的壓差保持在所要求壓差范圍之內(nèi), 并且要求氣壓要相對穩(wěn)定。
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流量控制器
對多數(shù)用戶而言,體積流量的表示方法很符合習慣﹑便于使用,但也有用戶需要知道單位時間內(nèi)流過介質(zhì)的質(zhì)量(如g/min),這個要求是很容易實現(xiàn)的。因為標準狀態(tài)下的氣體密度是一個常數(shù), 可以方便地查到,因而簡單地做一個乘法(以密度乘以若干slm)即可實現(xiàn)。由于變送器是以單片機為核心的智能儀表,因此可根據(jù)上述三個基本量而導出十幾種參數(shù)供用戶使用。所以說,在標準狀態(tài)下的體積流量就等同于質(zhì)量流量。
一定要按實際使用氣體標定顯示嗎?
不一定。按實際實際使用氣體標定顯示,顯示的是實際氣體的流量, 比較直觀。但在很多的實際應(yīng)用場合,只需要找到一個合適的流量參數(shù)并保證測量和控制的重復性,至于該氣體的實際質(zhì)量流量是多少,用戶并不是特別關(guān)心。在這種情況下,您直接使用廠家的標準出廠產(chǎn)品(氮氣標定顯示)也可以。2)浸入式帶測量管的浸入式流量傳感器和插入式儀表需要一定長度前置直管段,ISO/DIS14511對此未作具體規(guī)定,而按制造廠建議的值。當然,如前面所提到的,您在選定流量規(guī)格時,需要換算一下,以選擇合適的量程。對于某些用戶,同一個產(chǎn)品有時可能會通不同的氣體,這種情況下,直接使用氮氣標定出廠的產(chǎn)品更方便。