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半導(dǎo)體手套箱服務(wù)介紹“本信息長期有效”

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發(fā)布時(shí)間:2020-08-16 07:18  






手套箱故障分析

一、循環(huán)啟動(dòng)不了

1. 工作氣壓力是否在0.4-0.6MPa之間;

2. 高真空擋板閥電磁開關(guān)反饋是否正常;

3. 壓力傳感器是否顯示正常;

4. 風(fēng)機(jī)空開是否跳閘;

5. 風(fēng)機(jī)變頻器是否正常;

6. 點(diǎn)循環(huán)后,繼電器是否同時(shí)亮兩個(gè)。

二、再生按鈕不起作用

1. 需輸入密碼;

2. 真空泵未打開;

3. 此凈化柱正在循環(huán)(再生和循環(huán)不能同時(shí)在一個(gè)凈化柱上)。

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手套箱手套的安裝與維護(hù)

初次安裝手套箱請(qǐng)先將手套套在手套口上面,然后分別將內(nèi)外密封圈安裝,安裝后檢查一下,確定密封圈均在凹槽內(nèi)。

如果在使用過程中發(fā)現(xiàn)手套破損,應(yīng)及時(shí)更換,步驟如下:

1.把要替換的手套推倒箱體內(nèi);

2.摘除掉外部的O型圈,再移動(dòng)里面的O型圈致手套口外部槽上;

3.把手套卷到外面的O型圈邊,注意不要讓手套從手套口上掉下來;

4.盡可能地壓縮新的手套,趕出里面的空氣;

5.把新的手套安裝到手套口上,套在舊手套上;

6.在新手套外部,手套口里面的槽上安裝O型圈;

7.如果可以,把新手套放入隔離開的工作氣體環(huán)境中清潔(這樣能大程度去除空氣,減少進(jìn)入手套箱體內(nèi)的空氣量);

8.從手套箱里面,用另一個(gè)手套把舊手套摘到箱體內(nèi);

9.在新手套外面,手套口外部的槽上安裝上O型圈;

10.通過過渡艙把舊手套取出,妥善處置。







手套箱功能原理       

手套箱箱體內(nèi)的工作氣體在箱體與凈化柱(水氧吸附器)之間,在PLC的控制和監(jiān)視下,通過管道、循環(huán)風(fēng)機(jī)等進(jìn)行密閉循環(huán)。工作氣體循環(huán)經(jīng)過凈化柱時(shí)其所含水分和氧氣被吸附掉,然后再返回箱體內(nèi),隨著循環(huán)時(shí)間的推移,箱體內(nèi)工作氣體中的水氧含量逐步減少,終達(dá)到小于1ppm的指標(biāo)。箱體壓力過高會(huì)造成手套箱自動(dòng)停止循環(huán),檢查是否有工作氣持續(xù)補(bǔ)進(jìn)去。凈化柱在一定時(shí)間的循環(huán)后會(huì)吸附飽和,可進(jìn)行再生,重復(fù)使用。







帶凈化系統(tǒng)手套箱

目前行業(yè)內(nèi)常用的有手套箱。手套箱分類一、工業(yè)手套箱基本技術(shù)指標(biāo):1、水含量小于1ppm。手套箱的除水除氧功能是靠凈化材料來實(shí)現(xiàn)的,而凈化材料在吸附飽和后需要通過再生來恢復(fù)其活性,使其重新具有除水除氧功能。目前行業(yè)內(nèi)的一些廠家的產(chǎn)品還原清洗較頻繁,除了密封、凈化材料的再生工藝問題外,存在凈化柱的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)不合理、高徑比設(shè)計(jì)不科學(xué),通入的還原氣體流量控制不科學(xué),每次還原再生不徹底等因素。

因此,尋求一種優(yōu)異的手套箱凈化再生系統(tǒng),使得再生工藝中凈化材料加熱時(shí)更加均勻,還原更加徹底,提升凈化再生體系效能是整個(gè)行業(yè)迫切需要解決的問題。

為了克服上述困難,提供一種帶凈化系統(tǒng)的手套箱,凈化再生效果好,凈化材料利用率高,艾明坷氣體凈化手套箱根據(jù)還原反應(yīng)在不同階段對(duì)還原氣體消耗量的差異,通過PLC程序自動(dòng)控制時(shí)間、調(diào)節(jié)氣體流量實(shí)現(xiàn)還原氣體流量自動(dòng)控制。4、手套箱不利用時(shí),應(yīng)將各個(gè)門打開,防止手套箱門由于卡扣長時(shí)間擠壓而發(fā)生變形。手套箱氣體凈化系統(tǒng)提升了凈化材料的利用率,提高了手套箱箱體凈化的使用次數(shù),降低了凈化柱還原的頻率。








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