試驗(yàn)室供氣需求

目前大多數(shù)試驗(yàn)室中的各種分析儀器如氣相色譜儀、氣相色譜質(zhì)譜儀、液相色譜質(zhì)譜儀、原子吸收分光光度計(jì)、原子熒光光度計(jì)、等離子發(fā)射光譜儀、電感耦合等離子質(zhì)譜儀等都需要連續(xù)使用高純載氣和燃?xì)?，因此試?yàn)室的安全、連續(xù)、穩(wěn)定運(yùn)行需要我們考慮如何將這些氣體供到各試驗(yàn)室中放置的分析儀器。閥門是管路流體輸送系統(tǒng)中控制部件，用來改變通路斷面和介質(zhì)流動(dòng)方向，具有導(dǎo)流、截止、節(jié)流、止回、分流或溢流卸壓等功能。

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電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏方法

特氣系統(tǒng)氣體管道氦檢漏的順序宜采用內(nèi)向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。

1、內(nèi)向檢漏法(噴氦法)采用管道內(nèi)部抽真空，外部噴氦氣的方法檢漏，測(cè)試管路系統(tǒng)的泄漏率。

2、閥座檢漏法采用閥門上游充氦氣，下游抽真空的方法檢漏，測(cè)試管路系統(tǒng)的泄漏率。

3、外向檢漏法(吸槍法)應(yīng)采用管路內(nèi)部充氦氣或氦氮混合氣，外部應(yīng)采用吸槍檢查漏點(diǎn)的方法檢漏，測(cè)試管路系統(tǒng)的泄漏率。

電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏檢測(cè)規(guī)定

1、氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測(cè)儀，其檢測(cè)精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

2、特氣系統(tǒng)，內(nèi)向測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-9mbar*l/s;

3、閥座測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s;

4、外向測(cè)漏法測(cè)定的泄漏率不得大于1*10-6mbar*l/s。

氦檢漏發(fā)現(xiàn)的泄漏點(diǎn)經(jīng)修補(bǔ)后，應(yīng)重新經(jīng)過氣密性試驗(yàn)，合格后再按規(guī)定進(jìn)行氦檢漏。所有可能泄漏點(diǎn)應(yīng)用塑料袋進(jìn)行隔離。系統(tǒng)測(cè)試完畢，應(yīng)充入高純氮?dú)?，并進(jìn)行吹掃。測(cè)試完畢后，應(yīng)提交測(cè)試報(bào)告。

小流量氣體凈化系統(tǒng)

高純供氣系統(tǒng)主要應(yīng)用于鋼瓶氣、管道氣及氣體發(fā)生器等的高純連續(xù)供氣，應(yīng)用于超微量水、氧分析儀、氣相色譜儀、常壓離子質(zhì)譜儀等各類氣體分析儀器純化載氣或零點(diǎn)氣，也可用于超高純度氣體管道安裝施工中的吹掃氣體，更可以為半導(dǎo)體工藝設(shè)備提供超高純的工藝氣體。電子特氣管道系統(tǒng)氦檢漏檢測(cè)規(guī)定1、氦檢漏儀表應(yīng)采用質(zhì)譜型氦檢測(cè)儀，其檢測(cè)精度不得低于1*10-10mbar*l/s。

氣體凈化系統(tǒng)根據(jù)需求采用常溫或者高溫吸附劑，電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件，出氣口配置微米過濾器，其氣體純化指標(biāo)達(dá)到各項(xiàng)雜質(zhì)含量小于1ppb的世界先進(jìn)水平。

氣體配比儀采用質(zhì)量流量計(jì)，電化學(xué)拋光316L不銹鋼管件，雙卡套或者VCR氣體接頭。