光波超精密——靜壓空氣導(dǎo)軌

根據(jù)檢測方法的不同，可以對導(dǎo)軌直線度進(jìn)行分類，對一般的導(dǎo)軌直線度，通常采用水平儀測距和橋板測距兩種方法，根據(jù)得到的一條近似于導(dǎo)軌實際線的誤差曲線，確定導(dǎo)軌直線度誤差。

但在測量高精度導(dǎo)軌直線度時，導(dǎo)軌本身的直線度等級會與檢測工具的直線度等級達(dá)到一個數(shù)量級，此時使用距法就不能將導(dǎo)軌與工具的直線度誤差分離，這時就需要一種不使用基準(zhǔn)的高精度測量方法或技巧來有效地分離誤差，一般常用的是“直尺反測誤差分離法”。

光波超精密氣浮導(dǎo)軌廠家——靜壓空氣導(dǎo)軌

當(dāng)前導(dǎo)軌直線度的常用檢測方法有：

有基準(zhǔn)測量：將被測直線與選定的標(biāo)準(zhǔn)線相比較

無基準(zhǔn)測量：在被測表面上取一定量的測點，用某種方法處理測量數(shù)據(jù)

用于三坐標(biāo)測量機(jī)上的導(dǎo)向裝置有：滑動導(dǎo)向裝置、滾動導(dǎo)向裝置和氣浮導(dǎo)向裝置?；壘雀?，承載能力強(qiáng)，但低速運(yùn)行時摩擦阻力大，容易產(chǎn)生爬行，也不易在高速下運(yùn)行，有逐漸被氣浮導(dǎo)軌取代的趨勢?，F(xiàn)在大多數(shù)三坐標(biāo)測量機(jī)都采用安氣靜壓導(dǎo)軌，也叫氣浮式導(dǎo)軌，其優(yōu)點是制作簡單，精度高，摩擦系數(shù)小，工作平穩(wěn)。

閉式靜壓導(dǎo)軌的特點是：

能承受正、反向載荷，能承受偏載和顛覆力矩的能力較強(qiáng)；

氣膜的剛度較高，因此對于導(dǎo)軌本身結(jié)構(gòu)的剛度要求也較高；

(3)導(dǎo)軌的制作和調(diào)整較為復(fù)雜；

為降低功率損耗，閉式靜壓導(dǎo)軌一般采用不等面積氣腔結(jié)構(gòu)。

根據(jù)安裝特點，氣浮導(dǎo)軌可分為平面封閉式、圓筒封閉式、重力平衡式和真空預(yù)載式。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——靜壓空氣導(dǎo)軌

節(jié)流器的選擇和設(shè)計是氣浮導(dǎo)軌設(shè)計的關(guān)鍵。風(fēng)門型式對氣動導(dǎo)軌承載性能的影響程度決定了工作臺精度和整體承載性能。表中顯示，節(jié)流器類型以小孔節(jié)流、環(huán)面節(jié)流和狹縫節(jié)流形式應(yīng)用zui多；多孔質(zhì)和環(huán)面淺腔節(jié)流是兩種較新的節(jié)流形式，具有承載能力高、穩(wěn)定性好等優(yōu)點，但對多孔質(zhì)節(jié)流器而言，其節(jié)流特性主要受滲透系數(shù)的影響，而滲透系數(shù)主要由多孔質(zhì)材料自身的特性決定，因此，其具體數(shù)值難以確定。環(huán)面式淺腔節(jié)流設(shè)計時，淺腔結(jié)構(gòu)的深度一般在十幾微米到幾十微米之間，增加了加工難度，從而限制了此類節(jié)流器的應(yīng)用。剩下的節(jié)流形式，在實際中很少使用。