隨著國(guó)產(chǎn)化的推進(jìn)，部分種類(lèi)的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng)，占據(jù)市場(chǎng)半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品，中國(guó)的產(chǎn)能甚至可以滿(mǎn)足全球范圍內(nèi)的需要，但需清醒的看到，從核心競(jìng)爭(zhēng)力，質(zhì)量管理，品牌效應(yīng)方面來(lái)說(shuō)，我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。特種氣體是電子工業(yè)，特別是大規(guī)模集成電路制造不可缺少的材料氣體，該產(chǎn)業(yè)的發(fā)展應(yīng)與集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展同步或超前。特種氣體的純度朝高純的方向發(fā)展是特種氣體產(chǎn)業(yè)的一個(gè)必然方向，這就要求特種氣體的分離技術(shù)不斷進(jìn)步以滿(mǎn)足純度的要求。特種氣體是光電子、微電子等領(lǐng)域，特別是在超大的規(guī)模集成電路、液晶顯示器件、非晶硅薄膜太陽(yáng)能電池、半導(dǎo)體發(fā)光器件和半導(dǎo)體材料制造過(guò)程不可缺少的基硅性支撐源材料。

 對(duì)特氣的危害性進(jìn)行分析,通過(guò)本質(zhì)安全設(shè)計(jì),消除安全隱患。根據(jù)行業(yè)規(guī)范,對(duì)特氣房選址、安全間距、防火分區(qū)、房間通風(fēng)、電氣防爆等進(jìn)行評(píng)估。管道設(shè)計(jì)應(yīng)進(jìn)行保壓和氦測(cè)漏,確保系統(tǒng)密閉性。特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽(yáng)能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域,其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110 余種單元特種氣體,其中常用的有20～30 種。根據(jù)有關(guān)數(shù)據(jù)顯示，中國(guó)特種功能電子氣體市場(chǎng)規(guī)模逐年增長(zhǎng)，僅2016年，中國(guó)特種電子氣體市場(chǎng)規(guī)模約為98億元左右。值得關(guān)注的是，從產(chǎn)業(yè)鏈以及技術(shù)層面歐美國(guó)家占據(jù)較好的地位。

 氣體產(chǎn)品大致可以分為兩大類(lèi)別, 即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經(jīng)過(guò)空氣分離設(shè)備制造的普通級(jí)的氧氣和氮?dú)?、?jīng)過(guò)焦?fàn)t氣分離或電解等方法制造出來(lái)的普通純度的其它種類(lèi)氣體。自80年代1開(kāi)始，我國(guó)的氣體工業(yè)迅速發(fā)展，各類(lèi)純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問(wèn)世，其品種數(shù)目已與國(guó)外發(fā)達(dá)國(guó)家水平相近。隨著國(guó)產(chǎn)化的推進(jìn)，部分種類(lèi)的電子特種氣體慢慢形成規(guī)模效應(yīng)，占據(jù)市場(chǎng)半壁江山。一些常規(guī)的特氣產(chǎn)品，中國(guó)的產(chǎn)能甚至可以滿(mǎn)足全球范圍內(nèi)的需要，但需清醒的看到，從核心競(jìng)爭(zhēng)力，質(zhì)量管理，品牌效應(yīng)方面來(lái)說(shuō)，我們?nèi)匀惶幱诘退絽^(qū)間。

 電子工業(yè)是當(dāng)今推動(dòng)科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體，人們把這類(lèi)在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱(chēng)為電子特種氣體。有專(zhuān)用氣體倉(cāng)庫(kù)貯存。氣瓶倉(cāng)庫(kù)應(yīng)通風(fēng)干燥、清潔, 避免陽(yáng)光直射, 氣瓶庫(kù)應(yīng)清楚明“氣瓶貯存”字樣, 顯示適當(dāng)?shù)奈ｋU(xiǎn)標(biāo)記(例如、、有毒等) 。 　特種氣體(Specialtygases) 氣體工業(yè)名詞，是指那些在特定領(lǐng)域中應(yīng)用的，對(duì)氣體有特殊要求的純氣，高純氣或由高純單質(zhì)氣體配制的二元或多元混合氣。