流量控制器的原理是什么？

質(zhì)量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調(diào)節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質(zhì)量流量控制器的剖面結(jié)構(gòu)圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細(xì)管傳熱溫差量熱法原理測(cè)量氣體的質(zhì)量流量(無需溫度壓力補(bǔ)償)。將傳感器加熱電橋測(cè)得的流量信號(hào)送入放大器放大, 放大后的流量檢測(cè)電壓與設(shè)定電壓進(jìn)行比較, 再將差值信號(hào)放大后去控制調(diào)節(jié)閥門，閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設(shè)定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質(zhì)量流量控制器配套的流量顯示儀上設(shè)置有穩(wěn)壓電源,數(shù)字電壓表, 設(shè)定電位器, 外設(shè)、內(nèi)設(shè)轉(zhuǎn)換和三位閥控開關(guān)等。氣體質(zhì)量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。在被測(cè)流體處于壓力、溫度等參數(shù)變化很大的條件下，若僅測(cè)量體積流量，則會(huì)因?yàn)榱黧w密度的變化帶來很大的測(cè)量誤差。

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流量控制器安全使用準(zhǔn)則

①質(zhì)量流量控制器應(yīng)用的成功與否，與安裝有直接關(guān)系。對(duì)于三氯化硼等強(qiáng)腐蝕性氣體和MOCVD使用的金屬氧化物氣體建議采用金屬密封的MFC。除正常安裝要求外，要特別注意減少振動(dòng)影響，因?yàn)橘|(zhì)量流量控制器是基于振動(dòng)原理工作的，外加振動(dòng)會(huì)引入干擾。但盡可能小的外界干擾對(duì)測(cè)量無疑是有益的，所以對(duì)來自管線及現(xiàn)場(chǎng)環(huán)境的振動(dòng)要盡量設(shè)法避免。

②儀表使用過程中在使用條件下有必要進(jìn)行準(zhǔn)確的零點(diǎn)標(biāo)定，質(zhì)量流量控制器屬于在線使用的高度測(cè)量?jī)x表，零點(diǎn)的漂移對(duì)測(cè)量結(jié)果有影響，長(zhǎng)期使用時(shí)一定要定期進(jìn)行標(biāo)定。

③一定要避免超過使用質(zhì)量流量控制器范圍的情況發(fā)生，這會(huì)引起儀表測(cè)量度的下降，嚴(yán)重時(shí)會(huì)導(dǎo)致儀表?yè)p壞。例如由于超過儀表使用溫度范圍的蒸汽掃線等操作，將會(huì)使檢測(cè)線圈損壞而使儀表無法再使用。

④質(zhì)量流量控制器度高，其價(jià)格也很高，這就要求對(duì)其精心維護(hù)，如給其配備高質(zhì)量的穩(wěn)壓電源，對(duì)現(xiàn)場(chǎng)的振動(dòng)及使用條件進(jìn)行經(jīng)常檢查等，以保證度及儀表的安全。

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流量控制器

一般而言，僅對(duì)流量進(jìn)行計(jì)量或監(jiān)測(cè)時(shí)，用質(zhì)量流量計(jì)；需要對(duì)流量進(jìn)行控制時(shí)，用質(zhì)量流量控制器。流量控制器特點(diǎn)1、穩(wěn)定的流量供給，不受溫度、壓力變化2、寬量程比，可達(dá)100：13、高達(dá)0。某些測(cè)量場(chǎng)合，用二者皆可，如對(duì)毛細(xì)管流通能力的測(cè)量,當(dāng)定壓測(cè)流的時(shí)候, 用質(zhì)量流量計(jì); 當(dāng)定流測(cè)壓時(shí), 需要用質(zhì)量流量控制器。注意, 當(dāng)質(zhì)量流量控制器處于清洗狀態(tài)時(shí), 也可以當(dāng)質(zhì)量流量計(jì)使用, 只不過氣壓降要比普通質(zhì)量流量計(jì)大一些。