光波超精密——滾動(dòng)氣浮導(dǎo)軌生產(chǎn)廠家

氣浮導(dǎo)軌的幾何精度包括：導(dǎo)軌在垂直面和水平面之間的直線度，導(dǎo)軌面之間的平行度，導(dǎo)軌間的垂直度；由于系非接觸摩擦，所以導(dǎo)軌磨損極i小，壽命長(zhǎng)，可長(zhǎng)期保持制造精度，減少維修工作量。導(dǎo)軌導(dǎo)向精度是指運(yùn)動(dòng)部件運(yùn)動(dòng)軌跡與給定方向的偏差程度，主要取決于導(dǎo)軌本身的幾何精度和導(dǎo)軌配合間隙，其中配合間隙的大小主要取決于導(dǎo)軌的結(jié)構(gòu)類(lèi)型、表面粗糙度、導(dǎo)軌剛度以及熱變形等因素。

影響導(dǎo)軌精度的主要因素如下：

導(dǎo)軌直線度：它對(duì)導(dǎo)軌面間平行度和導(dǎo)軌間垂直度均有直接影響

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導(dǎo)軌剛度：導(dǎo)軌受力將導(dǎo)致接觸變形、局部變形和自身變形。觸點(diǎn)變形是由于導(dǎo)軌面的微觀不均勻性引起的；局部變形通常發(fā)生在應(yīng)力集中的地方；導(dǎo)軌本身的變形是指導(dǎo)軌受外載后，整體變形，與導(dǎo)軌的材料、布置有關(guān)。

導(dǎo)軌表面粗糙度：主要由導(dǎo)軌材料、硬度及研磨工藝決定。

導(dǎo)軌結(jié)構(gòu)形式：直接影響機(jī)床的定位精度、重復(fù)定位精度以及其它精度指標(biāo)。

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在兩個(gè)互相運(yùn)動(dòng)的平面之間有一個(gè)空隙 h (通常是幾個(gè)微米到幾十個(gè)微米)，被支撐件的下平面上有一個(gè)面積一定的氣腔(氣腔直徑為 d)，氣體通過(guò)節(jié)流器(節(jié)流器直徑為 d)進(jìn)入氣腔，這樣被支撐件①就在氣壓作用下，被支撐件②就在支撐件②上滑動(dòng)，使被支撐件①在氣缸中形成氣浮支撐.當(dāng)高壓氣體處于一定壓力下時(shí)，氣浮支撐件①就在氣浮中形成。進(jìn)氣腔通過(guò)節(jié)流器流動(dòng)時(shí)，壓力下降到 P。通過(guò)安裝影像系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)線紋尺、鋼卷尺等測(cè)量?jī)x器和設(shè)備的測(cè)試與校準(zhǔn)等。當(dāng)氣腔和間隙兩部分所占的面積需要合理設(shè)計(jì)時(shí)，系統(tǒng)就可以使間隙基本保持恒定，并使之處于力平衡狀態(tài).但是當(dāng)外加載 F突然增大時(shí)，間隙就會(huì)立即減小.因?yàn)榱鹘?jīng)間隙的流量與外加載 F成正比，流速就會(huì)大大降低，從而使外加載 F自動(dòng)增大.

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氣浮導(dǎo)軌z大ui的不同之處就是我們把滑軌和滑塊結(jié)合起來(lái)的獨(dú)特機(jī)制。利用真空復(fù)i制使載體臺(tái)架在導(dǎo)軌上，消除了振動(dòng)和諧波噪聲。極i好的穩(wěn)定性、平直性和剛度由此得到保證，保證了每一次實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位。

使用空氣可大大減少運(yùn)行時(shí)的維護(hù)情況。不但不需要進(jìn)行繁重的潤(rùn)滑要求，而且污染和除氣問(wèn)題也已經(jīng)過(guò)時(shí)。

與納米級(jí)精i確度相比，高速操作可同時(shí)提高產(chǎn)量和質(zhì)量，與傳統(tǒng)潤(rùn)滑油相比，空氣處理可解決污染和除氣問(wèn)題，是潔凈室操作的理想選擇采用多孔介質(zhì)技術(shù)，使空氣分布均勻，不但具有亞納米級(jí)的精度，而且具有內(nèi)在的防撞設(shè)計(jì)，以zui大程度地減少潛在損壞，減少維修停機(jī)時(shí)間，提高操作效率

滾動(dòng)導(dǎo)軌阻尼小而容易引起超調(diào)或振蕩，剛度低，制造困難，對(duì)臟污和軌面誤差較敏感。滾動(dòng)導(dǎo)軌多用于光學(xué)機(jī)械、精密儀器、數(shù)控機(jī)床、紡織機(jī)械等。液體靜壓導(dǎo)軌、氣浮導(dǎo)軌和磁浮導(dǎo)軌的動(dòng)軌和定軌之間存在流體，摩擦更小，幾乎沒(méi)有磨損，無(wú)爬行現(xiàn)象，但是剛度低，阻尼小，設(shè)計(jì)、制造和運(yùn)行控制較復(fù)雜。滾動(dòng)導(dǎo)軌按結(jié)構(gòu)可將導(dǎo)軌分為開(kāi)式導(dǎo)軌和閉式導(dǎo)軌。開(kāi)式導(dǎo)軌必須借助外力，例如自身重力，才能保證動(dòng)軌與定軌的軌面正確接觸，這種導(dǎo)軌承受軌面正壓力的能力較大，承受偏載和傾覆力矩的能力較差。閉式導(dǎo)軌依靠本身的截面形狀保證軌面的正確接觸，承受偏載和傾覆力矩的能力較強(qiáng)，例如燕尾形導(dǎo)軌。溫度要求溫度要求：20℃±2℃(精度校驗(yàn)應(yīng)滿足20℃±1℃)溫度時(shí)間梯度：≤0。影響導(dǎo)軌導(dǎo)向精度的主要因素有：直線度、兩個(gè)軌面的平行度、軌面粗糙度、耐磨性能、剛度、潤(rùn)滑措施等。

現(xiàn)有的液體靜壓導(dǎo)軌一般由液壓供油裝置、動(dòng)力驅(qū)動(dòng)裝置、導(dǎo)軌、滑塊，靜壓油腔等組成。當(dāng)導(dǎo)軌工作時(shí)，首先由液壓供油裝置將壓力油輸入至靜壓油腔中，在壓力油的作用下將滑塊從導(dǎo)軌上浮起，從而在滑塊與導(dǎo)軌之間充滿一層液體薄膜，使得導(dǎo)軌與滑塊間的接觸狀態(tài)由滑動(dòng)摩擦變?yōu)榧円后w摩擦，極大的減小了滑塊運(yùn)動(dòng)時(shí)的摩擦阻力。氣浮導(dǎo)軌副由氣浮塊和承導(dǎo)面組成，每個(gè)承導(dǎo)面上至少有兩個(gè)氣浮塊。