氦質(zhì)譜檢漏技術(shù)是真空檢漏領(lǐng)域里不可缺少的一種技術(shù)，由于檢漏效率，簡便易操作，儀器反應(yīng)靈敏，精度高，不易受其他氣體的干擾，在電阻爐檢漏中得到了廣泛應(yīng)用。檢漏儀高壓強(qiáng)下檢漏：檢漏口壓強(qiáng)可高達(dá)數(shù)百帕左右，對檢測大系統(tǒng)和有大漏的工件很有益。氦質(zhì)譜檢漏儀設(shè)備內(nèi)芯制造借鑒國外先進(jìn)技術(shù)，具有靈敏度高，反應(yīng)快，開機(jī)時(shí)間短等特點(diǎn)，是一款液晶觸摸彩屏顯示的全自動氦質(zhì)譜檢漏儀。

氦氣檢漏儀可同時(shí)檢測多工件，并能按照需求自動判斷出具體的有漏工件；專業(yè)定制的的密封接頭，穩(wěn)定可靠，減少誤判。氦質(zhì)譜檢漏儀主要技術(shù)指標(biāo)：1. 小可檢漏率：5×10-12Pa·m3/s。2. 漏率顯圍：1×10-3—1×10-12Pa·m3/s氦氣檢漏儀特有的清氦系統(tǒng)，快速有效地清除超標(biāo)的氦本底，保證檢測的穩(wěn)定性和準(zhǔn)確性；實(shí)時(shí)監(jiān)測氦氣壓力和濃度，保證了工件檢測的精度；

氦質(zhì)譜檢漏主要領(lǐng)域：電力工業(yè)——高壓開關(guān)、避雷器、發(fā)電廠冷凝器系統(tǒng)；電力工業(yè)——電子器件、半導(dǎo)體、傳感器和積成電路；隨著壓力容器出口產(chǎn)品的增加及各制造企業(yè)對產(chǎn)品質(zhì)量的重視，氦質(zhì)譜檢漏儀的方法在我國的壓力容器制造業(yè)中的應(yīng)用也逐年遞增。對檢漏方法的要求：能定位、定量，即不經(jīng)能夠找出漏孔的位置，還能知道漏率的大小，以便確定是否合乎質(zhì)量要求；能無損檢漏，不使被檢設(shè)備受到損傷和污染；

漏孔距離質(zhì)譜室的距離檢漏儀反應(yīng)時(shí)間也不同，所以噴氦氣應(yīng)先從靠近檢漏儀的一側(cè)開始由近至遠(yuǎn)進(jìn)行。氦質(zhì)譜檢漏法由于其高的靈敏度、方法的多樣性、對各種試件的適應(yīng)性以及無破壞性，使其廣泛應(yīng)用。氦質(zhì)譜檢漏儀的檢漏率應(yīng)高于設(shè)備所允許漏率1-2個(gè)數(shù)量級。首先將設(shè)備穩(wěn)固的置于明亮、透風(fēng)良好的場所，連接好檢漏用管路及壓力表，應(yīng)將壓力表安裝在測漏容器的頂部便于觀察的位置。