隨著慣性系統(tǒng)低成本化的發(fā)展，在20世紀60年代中期開始出現(xiàn)新型的非液浮的所謂干式加速度計。由于這種儀表采用撓性支承技術(shù)，所以稱為石英撓性加速度計，且其結(jié)構(gòu)與工藝大大簡化石英加速度計分為振梁式和擺式（即撓性），目前國內(nèi)生產(chǎn)的都是石英撓性加速度計。系列產(chǎn)品廣泛應用于慣性導航系統(tǒng)，捷聯(lián)導航系統(tǒng)和飛行平臺等運動物體的控制系統(tǒng)中，也可用于戰(zhàn)斗車輛的火控系統(tǒng)及艦船的姿態(tài)控制系統(tǒng)中，已涵蓋海、陸、空慣性導航領(lǐng)域；民用系列開環(huán)石英撓性加速度計產(chǎn)品廣泛應用于石油油井隨鉆測斜和連續(xù)測斜，高層建筑測斜，大壩測斜等，還可用于懸浮物體的姿態(tài)控制。

石英撓性加速度計屬于單軸重力加速度計，其特點是結(jié)構(gòu)簡單，體積小，精度和靈敏度高、可靠性高等。 石英撓性加速度計的工作原理是慣性質(zhì)量受到外界加速度時，相對位置發(fā)生輕微偏移，引起差動電容極板距離的變化導致差動電,開環(huán)石英撓性加速度計是一種檢測差動電容的用伺服電路，同石英電容傳感器配接在一起，構(gòu)成一個完整石英撓性加速度計。 加速度計廣泛用于慣導系統(tǒng)中，測量運動載體的加速度、速度、位置傾角等。該器件采用厚膜混合集成電路工藝技術(shù)制成，主要特點是密封性高、溫度范圍寬、低功耗、體積小、重量輕、可靠性高和無外接元件。

由于這種儀表采用撓性支承技術(shù)，所以稱為石英撓性加速度計，且其結(jié)構(gòu)與工藝大大簡化。石英撓性加速度計是一種檢測加速度的精密慣性傳感器，通過計算可以準確獲得系統(tǒng)的速度和位置，為各類系統(tǒng)的導航、制導、控制、調(diào)平等提供準確的加速度測量信號，石英撓性加速度計標定工作原理 主要由上下力矩器、擺組件以及伺服回路組成。開環(huán)石英撓性加速度計適用于量程較大，加速度較大的測試系統(tǒng)。開環(huán)石英撓性加速度計屬力反饋式加速度計，是一種敏感加速度的傳感器，是慣性導航系統(tǒng)的重要器件之一。由于具有精度高，體積小、重量輕，可靠性高等特點，