相對(duì)濕度在35%－40%之間能夠作為一個(gè)令人滿意的折中，半導(dǎo)體無(wú)塵車(chē)間、潔凈室一般都運(yùn)用額外的操控裝置以約束靜電荷的堆集。許多化學(xué)反響的速度，包含腐蝕的進(jìn)程，將跟著相對(duì)濕度的zeng高而加速。一切暴露在無(wú)塵車(chē)間、潔凈室周?chē)諝庵械耐獗矶己芸斓乇桓采w上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些外表是由能夠與水反響的薄金屬涂層組成時(shí)，高濕度能夠使反響加速。幸運(yùn)的是，一些金屬，例如鋁，能夠與水構(gòu)成一層維護(hù)形的氧化物，并阻止進(jìn)一步的氧化反響；但另一種情況是，例如氧化銅，是不具有維護(hù)才能的，因而，在高濕度的環(huán)境中，銅制外表更容易遭到腐蝕。

無(wú)塵廠房?jī)艋瘜?duì)空氣的好處：1、負(fù)離子氧化，簡(jiǎn)單來(lái)說(shuō)，就是增加室內(nèi)空氣的含氧量，保證進(jìn)入房間的空氣保持足夠的氧氣，使室內(nèi)環(huán)境充滿活力。2、紫外線消毒，大家都知道紫外線光源的作用是有效地殺滅空氣中的流行病毒和細(xì)菌，使大家遠(yuǎn)離gan染源，關(guān)心自己的健康。3、氧化鈦抗病du藥，設(shè)備中的納米二氧化鈦經(jīng)紫外線活化，在過(guò)濾空氣的同時(shí)，可有效降解甲醛等有機(jī)有毒氣體。

實(shí)驗(yàn)室里面的儀器設(shè)備該如何去除灰塵？精密儀器的除塵，塵埃多為帶有微量靜電的細(xì)小塵粒，常飄浮于空氣中，隨氣流而動(dòng)，遇物便附著其上，幾乎無(wú)孔不入。塵埃附著在模型標(biāo)本上會(huì)影響其色澤，運(yùn)動(dòng)部件上有塵埃會(huì)增大磨損，電器上有塵埃，嚴(yán)重者會(huì)形成短路、漏電，貴重精密儀器上有塵埃，嚴(yán)重者會(huì)使儀器作廢。鏟除塵埃的辦法許多，首要應(yīng)依塵埃附著外表的情況及其塵埃附著的程度而定。在枯燥的空氣中，若塵埃較少或塵埃沒(méi)有受潮結(jié)成塊斑，可用干布拭擦，毛巾?yè)鬯?，軟毛刷刷等辦法，鏟除一般儀器上的塵埃；對(duì)儀器內(nèi)部的塵?？捎闷み蟆⑾炊蚴酱騫i筒吹氣除塵，也可用吸塵器吸塵；對(duì)角、縫中的塵?？蓪⑸鲜鰩追N辦法結(jié)合起來(lái)除塵。

凈化工程車(chē)間的防靜電處理,1.使用離子風(fēng)槍、離子頭、離子棒等設(shè)施，使在一定范圍內(nèi)防止靜電產(chǎn)生。2.半導(dǎo)體器件應(yīng)盛放在防靜電塑料盛放器或防靜電塑料袋中，這種防靜電盛放器有良好導(dǎo)電性能，能有效防止靜電的產(chǎn)生。當(dāng)然，有條件的應(yīng)盛放在金屬盛放器內(nèi)或用金屬箔包裝。3.對(duì)于操作人員應(yīng)在手腕上帶防靜電手帶，這種手帶應(yīng)有良好的接地性能，這種措施極為有效。