光波超精密——?dú)飧≈本€導(dǎo)軌平臺

先了解導(dǎo)軌的作用，導(dǎo)軌的主要作用是支撐并引導(dǎo)運(yùn)動部件沿著某種軌道移動，就像我們的火車或電車軌道一樣。軌道起支撐和引導(dǎo)作用。

常規(guī)機(jī)械導(dǎo)軌由鋼軌和滑板兩部分組成，中間是滾珠，通過一定的技術(shù)手段，可使其工作的直線度、摩擦、剛度達(dá)到一定的性能指標(biāo)，在自動化行業(yè)、機(jī)床行業(yè)和精密設(shè)備制造業(yè)中得到廣泛應(yīng)用。

直線導(dǎo)軌的技術(shù)指標(biāo)，我們在選擇時(shí)，比較要注意幾點(diǎn)，負(fù)載能力和剛度，精度等級等等。

氣浮導(dǎo)軌，簡而言之，就是利用壓縮空氣使滑塊和導(dǎo)軌座相對懸浮，實(shí)現(xiàn)無摩擦、無振動的平滑運(yùn)動，并達(dá)到高精度導(dǎo)軌。

光波超精密空氣導(dǎo)軌——?dú)飧≈本€導(dǎo)軌平臺

對于滾動導(dǎo)軌，氣浮導(dǎo)軌的相位優(yōu)點(diǎn)是：

不磨擦、不磨損、壽命長。氣模厚度極i小，且均勻度好，精度高。三、氣膜厚度與速度幾乎沒有關(guān)系，即使在非常低速也不會產(chǎn)生爬行，運(yùn)動平穩(wěn)。四、低發(fā)熱量、低維護(hù)、清潔環(huán)保。

氣浮導(dǎo)軌是根據(jù)空氣軸承的基本原理，實(shí)現(xiàn)無摩擦、無振動的平穩(wěn)運(yùn)動。其特點(diǎn)是運(yùn)動精i確，清潔無污染。由于誤差均化的作用，所以可以用較低的加工精度獲得較高的導(dǎo)引精度。氣浮導(dǎo)板被廣泛應(yīng)用于測量儀器和精密機(jī)械中。

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在兩個(gè)互相運(yùn)動的平面之間有一個(gè)空隙 h (通常是幾個(gè)微米到幾十個(gè)微米)，被支撐件的下平面上有一個(gè)面積一定的氣腔(氣腔直徑為 d)，氣體通過節(jié)流器(節(jié)流器直徑為 d)進(jìn)入氣腔，這樣被支撐件①就在氣壓作用下，被支撐件②就在支撐件②上滑動，使被支撐件①在氣缸中形成氣浮支撐.當(dāng)高壓氣體處于一定壓力下時(shí)，氣浮支撐件①就在氣浮中形成。進(jìn)氣腔通過節(jié)流器流動時(shí)，壓力下降到 P。當(dāng)氣腔和間隙兩部分所占的面積需要合理設(shè)計(jì)時(shí)，系統(tǒng)就可以使間隙基本保持恒定，并使之處于力平衡狀態(tài).但是當(dāng)外加載 F突然增大時(shí)，間隙就會立即減小.因?yàn)榱鹘?jīng)間隙的流量與外加載 F成正比，流速就會大大降低，從而使外加載 F自動增大.

光波超精密氣浮導(dǎo)軌——?dú)飧≈本€導(dǎo)軌平臺

氣浮導(dǎo)軌z大ui的不同之處就是我們把滑軌和滑塊結(jié)合起來的獨(dú)特機(jī)制。利用真空復(fù)i制使載體臺架在導(dǎo)軌上，消除了振動和諧波噪聲。極i好的穩(wěn)定性、平直性和剛度由此得到保證，保證了每一次實(shí)現(xiàn)納米級定位。

使用空氣可大大減少運(yùn)行時(shí)的維護(hù)情況。不但不需要進(jìn)行繁重的潤滑要求，而且污染和除氣問題也已經(jīng)過時(shí)。

與納米級精i確度相比，高速操作可同時(shí)提高產(chǎn)量和質(zhì)量，與傳統(tǒng)潤滑油相比，空氣處理可解決污染和除氣問題，是潔凈室操作的理想選擇采用多孔介質(zhì)技術(shù)，使空氣分布均勻，不但具有亞納米級的精度，而且具有內(nèi)在的防撞設(shè)計(jì)，以zui大程度地減少潛在損壞，減少維修停機(jī)時(shí)間，提高操作效率